[实用新型]一种半导体石英部件旋转平台有效

专利信息
申请号: 202122215473.1 申请日: 2021-09-14
公开(公告)号: CN214488224U 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 王卫良;李士昌;刘超平;林保璋;姜永峰 申请(专利权)人: 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司;盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司
主分类号: B08B13/00 分类号: B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 315100 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 石英 部件 旋转 平台
【权利要求书】:

1.一种半导体石英部件旋转平台,其特征在于:包括基台(1)、转动安装于基台(1)上的摆放台(2),所述摆放台(2)上开设有若干围绕摆放台(2)中心分布的滑移槽(22),各所述滑移槽(22)的长度方向的延长线交汇于摆放台(2)中心,所述滑移槽(22)内安装有定位块(3),且所述基台(1)上设置有用于驱使摆放台(2)旋转的旋转机构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体石英部件旋转平台,其特征在于:所述基台(1)上开设有安装槽(11),所述摆放台(2)放置于安装槽(11)内,所述旋转机构(8)包括固定于基台(1)侧壁上且输出轴穿过基台(1)侧壁并进入安装槽(11)内的旋转电机(81)、固定于旋转电机(81)的输出轴上的旋转蜗杆(82)以及设置于摆放台(2)圆周侧壁上的旋转啮合齿(21),所述旋转蜗杆(82)和旋转啮合齿(21)相互啮合。

3.根据权利要求1所述的一种半导体石英部件旋转平台,其特征在于:所述摆放台(2)上设置有用于调整定位块(3)在摆放台(2)上位置的调节机构(6),所述调节机构(6)包括固定于摆放台(2)背对定位块(3)一侧表面且与摆放台(2)之间形成转动腔(611)的扣盖(61)、转动安装于转动腔(611)内的调节盘(62),所述调节盘(62)上开设有若干围绕调节盘(62)中心分布的弧形槽(622),各所述弧形槽(622)之间同时朝向调节盘(62)的中心倾斜,所述定位块(3)上固定有导向柱(312),所述导向柱(312)穿设于弧形槽(622)内,且在扣盖(61)上设置有用于驱使调节盘(62)旋转的调节组件(63)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体石英部件旋转平台,其特征在于:所述调节组件(63)包括固定于扣盖(61)上且输出轴穿过扣盖(61)后进入转动腔(611)内的调节电机(631)、固定于调节电机(631)的输出轴上的调节齿轮(632),所述调节盘(62)的圆周侧壁上开设有调节啮合齿(621),所述调节齿轮(632)与调节盘(62)上的调节啮合齿(621)相互啮合。

5.根据权利要求4所述的一种半导体石英部件旋转平台,其特征在于:所述定位块(3)包括滑移安装于滑移槽(22)内的底块(31)、升降设置于底块(31)上的升块(32),所述底块(31)上开设有上下贯穿的导向孔(315),所述升块(32)上固定有升降杆(321),所述升降杆(321)穿设于导向孔(315)内,且在底块(31)上设置有用于固定升降杆(321)的锁止机构(4)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体石英部件旋转平台,其特征在于:所述底块(31)的两侧各设置有一支耳(311),两个所述支耳(311)抵触在摆放台(2)上。

7.根据权利要求5所述的一种半导体石英部件旋转平台,其特征在于:所述底块(31)朝向摆放台(2)的一侧开设有锁件槽(313),所述锁止机构(4)包括铰接于底块(31)上且位于锁件槽(313)内的锁止拨片(41)、套设于升降杆(321)上且位于锁止拨片(41)和底块(31)之间的锁止弹簧(42),所述锁止拨片(41)上开设有锁止孔(411),所述升降杆(321)穿设于锁止孔(411)内,所述锁止弹簧(42)推动锁止拨片(41)向下转动并使锁止孔(411)的口沿抵紧在升降杆(321)的侧壁上。

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