[实用新型]半导体加工用定位器有效

专利信息
申请号: 202121815831.6 申请日: 2021-08-04
公开(公告)号: CN215578480U 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 刘鲲;李志峰;庄明虔 申请(专利权)人: 山东省半导体研究所
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;G01B11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 255311*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 半导体 工用 定位器
【说明书】:

实用新型公开了半导体加工用定位器,包括:加工台,加工台上安装有全自动红外线定位加工结构;全自动红外线定位加工结构包含有:一对定位驱动组件、固定安装组件以及加工组件;一对定位驱动组件其中一个包含有:驱动箱、安装腔、一对伺服驱动电机、一对安装隔板、一对第一旋转轴承、螺旋丝杠以及移动块;本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,本案的有益效果为:解决了现有的半导体生产用定位设备结构简单,需要人员手动使用镊子进行芯片的放置及辅助固定,定位精度低,加工中易出现位置窜动的现象,造成生产失败,增加生产成本,影响生产效率的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,具体为半导体加工用定位器。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,目前现有的半导体芯片在加工的过程中,需要将半导体芯片进行固定,现有的半导体生产用定位设备结构简单,需要人员手动使用镊子进行芯片的放置及辅助固定,定位精度低,加工中易出现位置窜动的现象,造成生产失败,增加生产成本,影响生产效率。

实用新型内容

为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:半导体加工用定位器,包括:加工台,加工台上安装有全自动红外线定位加工结构;

全自动红外线定位加工结构包含有:一对定位驱动组件、固定安装组件以及加工组件;

一对定位驱动组件其中一个包含有:驱动箱、安装腔、一对伺服驱动电机、一对安装隔板、一对第一旋转轴承、螺旋丝杠以及移动块;

驱动箱安装在加工台上方位置,安装腔开设在驱动箱内部位置,一对伺服驱动电机安装在安装腔内部两侧位置,一对安装隔板安装在一对伺服驱动电机内侧位置,一对第一旋转轴承嵌装在一对安装隔板中间位置,螺旋丝杠嵌装在一对第一旋转轴承上,螺旋丝杠两端与一对伺服驱动电机相连接,移动块安装在螺旋丝杠上。

优选的,固定安装组件包含有:移动座、安装箱、两对液压缸、调节台、固定夹具、两对第二旋转轴承、两对调节杆以及两对固定压板;

移动座安装在移动块上,安装箱安装在移动座上方,两对液压缸安装在安装箱内四侧壁面上,调节台安装在安装箱上方,调节台与两对液压缸相连接,固定夹具安装在调节台上,两对第二旋转轴承嵌装在固定夹具上,两对调节杆安装在两对第二旋转轴承上,两对固定压板安装在两对调节杆上。

优选的,加工组件包含有:第一支撑架、芯片放置器、第二支撑架以及半导体焊接器;

第一支撑架安装在加工台上左侧靠后位置,芯片放置器安装在第一支撑架上,第二支撑架安装在第一支撑架右侧位置,半导体焊接器安装在第二支撑架上。

优选的,螺旋丝杠通过联轴器与伺服驱动电机输出端相连接。

优选的,固定压板上安装有防止旋转的定位杆。

优选的,调节台上安装有用于加工移动定位的红外传感器。

有益效果

本实用新型提供了半导体加工用定位器,具备以下有益效果:本案使用了全自动红外线定位加工结构,通过使用机械定位的放置进行半导体加工的定位,保证定位精度,确保固定牢固,增加生产效率,解决了现有的半导体生产用定位设备结构简单,需要人员手动使用镊子进行芯片的放置及辅助固定,定位精度低,加工中易出现位置窜动的现象,造成生产失败,增加生产成本,影响生产效率的问题。

附图说明

图1为本实用新型所述半导体加工用定位器的主视剖视结构示意图。

图2为本实用新型所述半导体加工用定位器的固定安装组件右视结构示意图。

图3为本实用新型所述半导体加工用定位器的固定安装组件局部放大结构示意图。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东省半导体研究所,未经山东省半导体研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121815831.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top