[实用新型]半导体加工用定位器有效

专利信息
申请号: 202121815831.6 申请日: 2021-08-04
公开(公告)号: CN215578480U 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 刘鲲;李志峰;庄明虔 申请(专利权)人: 山东省半导体研究所
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;G01B11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 255311*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 半导体 工用 定位器
【权利要求书】:

1.半导体加工用定位器,包括:加工台,其特征在于,加工台上安装有全自动红外线定位加工结构;

全自动红外线定位加工结构包含有:一对定位驱动组件、固定安装组件以及加工组件;

一对定位驱动组件其中一个包含有:驱动箱、安装腔、一对伺服驱动电机、一对安装隔板、一对第一旋转轴承、螺旋丝杠以及移动块;

驱动箱安装在加工台上方位置,安装腔开设在驱动箱内部位置,一对伺服驱动电机安装在安装腔内部两侧位置,一对安装隔板安装在一对伺服驱动电机内侧位置,一对第一旋转轴承嵌装在一对安装隔板中间位置,螺旋丝杠嵌装在一对第一旋转轴承上,螺旋丝杠两端与一对伺服驱动电机相连接,移动块安装在螺旋丝杠上。

2.根据权利要求1所述的半导体加工用定位器,其特征在于,固定安装组件包含有:移动座、安装箱、两对液压缸、调节台、固定夹具、两对第二旋转轴承、两对调节杆以及两对固定压板;

移动座安装在移动块上,安装箱安装在移动座上方,两对液压缸安装在安装箱内四侧壁面上,调节台安装在安装箱上方,调节台与两对液压缸相连接,固定夹具安装在调节台上,两对第二旋转轴承嵌装在固定夹具上,两对调节杆安装在两对第二旋转轴承上,两对固定压板安装在两对调节杆上。

3.根据权利要求1所述的半导体加工用定位器,其特征在于,加工组件包含有:第一支撑架、芯片放置器、第二支撑架以及半导体焊接器;

第一支撑架安装在加工台上左侧靠后位置,芯片放置器安装在第一支撑架上,第二支撑架安装在第一支撑架右侧位置,半导体焊接器安装在第二支撑架上。

4.根据权利要求1所述的半导体加工用定位器,其特征在于,螺旋丝杠通过联轴器与伺服驱动电机输出端相连接。

5.根据权利要求2所述的半导体加工用定位器,其特征在于,固定压板上安装有防止旋转的定位杆。

6.根据权利要求2所述的半导体加工用定位器,其特征在于,调节台上安装有用于加工移动定位的红外传感器。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东省半导体研究所,未经山东省半导体研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121815831.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top