[实用新型]半导体加工用定位器有效
| 申请号: | 202121815831.6 | 申请日: | 2021-08-04 | 
| 公开(公告)号: | CN215578480U | 公开(公告)日: | 2022-01-18 | 
| 发明(设计)人: | 刘鲲;李志峰;庄明虔 | 申请(专利权)人: | 山东省半导体研究所 | 
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;G01B11/00 | 
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 | 
| 地址: | 255311*** | 国省代码: | 山东;37 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 工用 定位器 | ||
1.半导体加工用定位器,包括:加工台,其特征在于,加工台上安装有全自动红外线定位加工结构;
全自动红外线定位加工结构包含有:一对定位驱动组件、固定安装组件以及加工组件;
一对定位驱动组件其中一个包含有:驱动箱、安装腔、一对伺服驱动电机、一对安装隔板、一对第一旋转轴承、螺旋丝杠以及移动块;
驱动箱安装在加工台上方位置,安装腔开设在驱动箱内部位置,一对伺服驱动电机安装在安装腔内部两侧位置,一对安装隔板安装在一对伺服驱动电机内侧位置,一对第一旋转轴承嵌装在一对安装隔板中间位置,螺旋丝杠嵌装在一对第一旋转轴承上,螺旋丝杠两端与一对伺服驱动电机相连接,移动块安装在螺旋丝杠上。
2.根据权利要求1所述的半导体加工用定位器,其特征在于,固定安装组件包含有:移动座、安装箱、两对液压缸、调节台、固定夹具、两对第二旋转轴承、两对调节杆以及两对固定压板;
移动座安装在移动块上,安装箱安装在移动座上方,两对液压缸安装在安装箱内四侧壁面上,调节台安装在安装箱上方,调节台与两对液压缸相连接,固定夹具安装在调节台上,两对第二旋转轴承嵌装在固定夹具上,两对调节杆安装在两对第二旋转轴承上,两对固定压板安装在两对调节杆上。
3.根据权利要求1所述的半导体加工用定位器,其特征在于,加工组件包含有:第一支撑架、芯片放置器、第二支撑架以及半导体焊接器;
第一支撑架安装在加工台上左侧靠后位置,芯片放置器安装在第一支撑架上,第二支撑架安装在第一支撑架右侧位置,半导体焊接器安装在第二支撑架上。
4.根据权利要求1所述的半导体加工用定位器,其特征在于,螺旋丝杠通过联轴器与伺服驱动电机输出端相连接。
5.根据权利要求2所述的半导体加工用定位器,其特征在于,固定压板上安装有防止旋转的定位杆。
6.根据权利要求2所述的半导体加工用定位器,其特征在于,调节台上安装有用于加工移动定位的红外传感器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





