[实用新型]一种晶片载盘定位移动装置有效
| 申请号： | 202121783692.3 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN215578471U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 黄显林;黄彩颖 | 申请（专利权）人： | 深圳思博睿智能装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/68;H01L33/00 |
| 代理公司： | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人： | 程文栋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 定位 移动 装置 | ||
1.一种晶片载盘定位移动装置，其特征在于，包括：
运动模块连接板(1)；
载盘支撑板(5)；
所述运动模块连接板(1)上表面中部通过螺栓固定连接有运动模块(2)，所述运动模块(2)动力输出端通过螺栓固定连接有夹爪连接板(3)；
所述夹爪连接板(3)上表面中部四周均通过螺栓固定连接有夹爪(4)，所述夹爪连接板(3)上表面四周边缘处均通过螺栓固定连接有载盘支撑板(5)，所述夹爪(4)动力输出端通过螺栓固定连接有定位轴支撑板(6)，所述定位轴支撑板(6)上表面两端均螺纹插接有载盘定位轴(7)，所述夹爪连接板(3)外围一侧中部通过螺栓固定连接有线缆护罩(8)。
2.根据权利要求1所述的一种晶片载盘定位移动装置，其特征在于：所述运动模块连接板(1)用于作为运动模块(2)的安装定位机构，且运动模块连接板(1)用于作为运动模块(2)的驱动着力机构。
3.根据权利要求1所述的一种晶片载盘定位移动装置，其特征在于：所述运动模块(2)具体为气动液压缸，所述线缆护罩(8)另一端通过螺栓与运动模块连接板(1)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶片载盘定位移动装置，其特征在于：所述夹爪连接板(3)下表面通过滑块在运动模块(2)上表面滑动，滑块用于作为夹爪连接板(3)在运动模块(2)上的活动定位机构。
5.根据权利要求1所述的一种晶片载盘定位移动装置，其特征在于：所述夹爪(4)具体为气动四爪式夹爪，所述定位轴支撑板(6)呈U型结构，四个所述定位轴支撑板(6)呈十字型排布。
6.根据权利要求1所述的一种晶片载盘定位移动装置，其特征在于：所述载盘支撑板(5)呈山字型结构，所述线缆护罩(8)用于作为夹爪连接板(3)驱动连接防护机构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
