[实用新型]一种半导体元件加工用压装组件有效
申请号: | 202120180301.2 | 申请日: | 2021-01-22 |
公开(公告)号: | CN214175977U | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 杨加国;方鹏 | 申请(专利权)人: | 无锡圣堂科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人: | 王俊 |
地址: | 214000 江苏省无锡市无锡开发区4*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 元件 工用 组件 | ||
1.一种半导体元件加工用压装组件,包括主体座(1),其特征在于:所述主体座(1)的顶部左右两侧均固定安装有压合调节板(5),所述主体座(1)的顶部且位于两个压合调节板(5)形成的夹缝处活动安装有元件安置板(4),所述元件安置板(4)的底部左右两侧均固定安装有移动架(3),两个所述移动架(3)的内部均活动安装有移动轮(2),两个所述压合调节板(5)相对的一侧均开设有压合槽(11),两个所述压合槽(11)的内底壁上均固定安装有电动推杆(6),两个所述电动推杆(6)的输出轴上均固定安装有延伸杆(7),两个所述延伸杆(7)的底部均固定安装有连接板(8),两个所述连接板(8)的底部均固定安装有复位弹簧(12),两个所述连接板(8)相对的一侧固定安装有压装安置板(9),所述压装安置板(9)的底部活动安装有可更换压合板(10),所述压装安置板(9)的左右两侧均固定安装有与可更换压合板(10)相对应的固定卡柱(13),两个所述固定卡柱(13)的底部均活动安装有卡接板(15),所述固定卡柱(13)与卡接板(15)通过固定扭簧(14)铰接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用压装组件,其特征在于:所述主体座(1)的顶部开设有与元件安置板(4)相对应的安置槽,所述安置槽的内壁上开设有与移动轮(2)相对应的移动滑槽。
3.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用压装组件,其特征在于:所述主体座(1)的底部左右两侧均固定安装有支撑垫,所述支撑垫为丁腈橡胶垫。
4.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用压装组件,其特征在于:所述可更换压合板(10)与压装安置板(9)通过卡接板(15)卡接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用压装组件,其特征在于:两个所述压合槽(11)的内底壁上均开设有与复位弹簧(12)相对应的弹簧安置槽。
6.根据权利要求1所述的一种半导体元件加工用压装组件,其特征在于:所述可更换压合板(10)的左右两侧均固定安装有与卡接板(15)相对应的限位卡接片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造