[发明专利]一种搬运机器人

说明书

本发明公开了一种搬运机器人，包括依次转动连接的底座、下臂和上臂，在上臂上转动设置执行机构，执行机构的驱动模组内部设置线束，同时线束能分别延伸至下手腕和上手腕的内部空间，并通过线束分别连接下末端执行器和上末端执行器的电子元器件。通过驱动模组内设置线束，避免了线束的往复运动，可以降低对线束本身的性能要求以此节省成本；同时减少了机器人在搬运晶圆的过程中对线束的磨损，抑制了粉尘产生，也减少了后期维护、更换线束所产生的人力和材料成本；结构大幅简化，降低了装配难度和装配时间，也减少了加工难度和物料成本，简单的结构可以减少后期维护的时间，增加生产效率。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种用于晶圆输送的搬运机器人。

背景技术

集成电路(integrated circuit)是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。它在电路中用字母“IC”表示。

而集成电路的基础是半导体晶片，也称之为晶圆。在集成电路的制造过程中，要求高精度和高洁净度，同时晶圆需要在各个工序之间进行加工处理，因此需要搬运机器人将晶圆在各个工序之间进行稳定的传输和搬运。

目前的搬运机器属于长臂平面关节型晶圆搬运机械手，其结构中的两个末端执行器(手指/片叉)，用于进行直接接触式的晶圆取放。由于每个末端执行器中都有电气元件(传感器、气缸等)用于固定、监测晶圆等，所以需要将相关线缆和气管引导至两个末端执行器部位。此外，由于集成电路制造生产区域有严格的洁净度要求，所述线缆和气管需要置于机械手内部。

另外，运动部分的线缆和气管需要有优秀的耐磨性能，增加了原材料成本；在安装过程中，由于涉及到狭小空间内的线束缠绕，此设计也增加了人工成本和后期维护成本。

因此，目前搬运机器人存在线束设置位置不合理，导致前期装配难度增加，对零部件性能要求增加，后期线束磨损较快，维修次数增多，增加了维护成本、降低了生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种搬运机器人。

为了达到以上目的，本发明采用的技术方案是：一种搬运机器人，包括：

底座；

下臂，所述下臂的一端转动设置底座上，在外力作用下，所述下臂能在水平面内进行旋转；

上臂，所述上臂的一端与下臂的另一端转动连接，且所述上臂的旋转轴与下臂的旋转轴平行，并在外力作用下，所述上臂能在水平面内进行旋转；

执行机构，所述执行机构转动设置在上臂的另一端，所述执行机构包括驱动模组，且所述驱动模组上同轴设置下手腕和上手腕，且下手腕上设置下末端执行器，所述上手腕上设置上末端执行器，在驱动模组的驱动下，所述下手腕和上手腕进行同轴转动，且驱动模组的内部设置线束，同时线束能分别延伸至下手腕和上手腕的内部空间。