[发明专利]一种碳化硅单晶生长装置

权利要求书

1.一种碳化硅单晶生长装置，包括用于盛放碳化硅单晶生长原料的坩埚（11），以及加热筒（12），其特征在于，还包括设置在所述坩埚（11）上的升降杆单元（1），设置在所述升降杆单元（1）上的箱体单元（2），以及设置在所述箱体单元（2）上并用于调整所述升降杆单元（1）位置的转盘单元（3）。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶生长装置，其特征在于，所述升降杆单元（1）包括连接在所述坩埚（11）上的升降杆（101），设置在所述升降杆（101）上的升降板（102），以及设置在所述升降板（102）上并用于螺接所述转盘单元（3）的内螺纹孔（103）；所述箱体单元（2）包括箱体（201），设置在所述箱体（201）上并用于安装所述升降杆（101）的升降杆孔（202）；所述转盘单元（3）包括设置在所述箱体（201）内侧面上并用于螺接所述内螺纹孔（103）的螺纹杆（301）。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅单晶生长装置，其特征在于，所述箱体单元（2）包括还包括设置在所述箱体（201）上并用于安装所述转盘单元（3）的转盘柱孔（203）；所述转盘单元（3）还包括设置在所述螺纹杆（301）上的转盘柱（302），以及设置在所述转盘柱（302）上的转盘（303）。

4.根据权利要求2所述的一种碳化硅单晶生长装置，其特征在于，所述箱体单元（2）还包括设置在所述箱体（201）并用于安装所述转盘单元（3）的挤压杆孔（204），以及设置在所述挤压杆孔（204）内环面上的挤压杆限位槽（205）；所述转盘单元（3）还包括设置在所述螺纹杆（301）上且安装在所述挤压杆孔（204）中并用于卡合所述挤压杆限位槽（205）的挤压杆部（304）。

5.根据权利要求2所述的一种碳化硅单晶生长装置，其特征在于，所述升降杆单元（1）还包括设置在所述升降杆（101）上的升降杆限位槽（104）；所述箱体单元（2）还包括设置在所述箱体（201）上并用于卡合所述升降杆限位槽（104）的伸缩柱部（206）。

6.根据权利要求4所述的一种碳化硅单晶生长装置，其特征在于，所述挤压杆部（304）包括挤压杆（304a），设置在所述挤压杆（304a）上的挤压杆空腔（304b），设置在所述挤压杆（304a）上并与所述挤压杆空腔（304b）连通的挤压杆限位柱孔（304c），设置在所述挤压杆限位柱孔（304c）上的挤压杆限位柱（304d），设置在所述挤压杆（304a）上并与所述挤压杆空腔（304b）连通的活动柱孔（304e），设置在所述活动柱孔（304e）上的活动柱（304f），设置在所述活动柱（304f）上的弹簧柱（304g），设置在所述弹簧柱（304g）上的弹簧（304h），设置在所述弹簧柱（304g）上并用于顶起所述弹簧（304h）的顶起板（304i），设置在所述弹簧柱（304g）上的绳孔（304j），以及设置在所述挤压杆限位柱（304d）上且穿过所述绳孔（304j）上并用于连接所述挤压杆空腔（304b）内侧面的拉动绳（304k）。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅单晶生长装置，其特征在于，所述挤压杆部（304）还包括设置在所述挤压杆限位柱（304d）上的拉簧板（304m），以及设置在所述拉簧板（304m）上且套接在所述挤压杆限位柱（304d）上并用于连接所述挤压杆空腔（304b）内侧面的拉簧（304n）。