[发明专利]CIS芯片的封装方法在审

专利信息
申请号: 202111528175.6 申请日: 2021-12-14
公开(公告)号: CN114256279A 公开(公告)日: 2022-03-29
发明(设计)人: 蔡小虎;温建新;叶红波;史海军 申请(专利权)人: 上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;B29C39/26;B29C39/10
代理公司: 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 代理人: 黄海霞
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: cis 芯片 封装 方法
【权利要求书】:

1.一种CIS芯片的封装方法,其特征在于,包括:

提供CIS芯片、盖板、基板和模具,所述CIS芯片上形成有多个焊盘,所述基板呈平板状,且所述基板上具有至少一个与所述CIS芯片相适配的芯片位,所述芯片位的边界形成有减薄痕,所述芯片位上形成有与所述焊盘一一对应的引脚,所述模具呈平板状,且所述模具上形成有贯穿所述模具的模位,所述模位的形状与所述芯片位相适配,所述模具的厚度大于所述CIS芯片的厚度;

将所述CIS芯片贴装于所述基板上;

将所述盖板贴于所述CIS芯片的感光区域;

通过键合丝实现所述焊盘与所述引脚的连接;

将所述模具盖在所述基板上,并使所述CIS芯片以及引脚均置于所述模位内;

向所述模位内注胶或塑封料,以覆盖位于所述模位内的裸露的芯片位表面、所述键合丝以及裸露的CIS芯片表面;

去除所述模具,然后进行揭膜和捡片,以完成对所述CIS芯片的封装。

2.根据权利要求1所述的CIS芯片的封装方法,其特征在于,所述芯片位上设有与所述CIS芯片相适配的芯片粘贴位,所述引脚位于所述芯片粘贴位之外,所述将所述CIS芯片贴于所述基板上,包括:

在所述芯片粘贴位上点胶,然后将所述CIS芯片覆盖于所述芯片粘贴位上。

3.根据权利要求1所述的CIS芯片的封装方法,其特征在于,所述通过键合丝实现所述焊盘与所述引脚的连接,包括:

通过打线工艺,以通过键合丝实现所述焊盘与所述引脚的连接。

4.根据权利要求1所述的CIS芯片的封装方法,其特征在于,还包括:在半导体衬底上形成多个所述CIS芯片,通过划片以形成独立的多个所述CIS芯片。

5.根据权利要求1所述的CIS芯片的封装方法,其特征在于,还包括:在半导体衬底上形成多个所述CIS芯片,然后对所述CIS芯片的衬底进行减薄,然后通过划片以形成独立的多个所述CIS芯片。

6.根据权利要求1所述的CIS芯片的封装方法,其特征在于,所述向所述模位内注胶或塑封料,以覆盖位于所述模位内的裸露的芯片位表面、所述键合丝以及裸露的CIS芯片表面,包括:

向所述模位内注胶或塑封料,以覆盖位于所述模位内的裸露的芯片位表面、所述键合丝以及裸露的CIS芯片表面,直至仅裸露所述盖板的上表面。

7.根据权利要求1所述的CIS芯片的封装方法,其特征在于,还包括:

通过刻蚀或冲压在所述芯片位的边界形成所述减薄痕。

8.根据权利要求1所述的CIS芯片的封装方法,其特征在于,还包括:

通过刻蚀在所述模具上形成贯穿所述模具的模位。

9.根据权利要求1所述的CIS芯片的封装方法,其特征在于,所述盖板的材料为玻璃。

10.根据权利要求1所述的CIS芯片的封装方法,其特征在于,所述基板的材料为陶瓷。

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