[发明专利]用于芯片的自动化加工装置在审

专利信息
申请号: 202111088850.8 申请日: 2019-08-20
公开(公告)号: CN113990774A 公开(公告)日: 2022-01-28
发明(设计)人: 黄力;蒋丽军 申请(专利权)人: 道晟半导体(苏州)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 王健
地址: 215163 江苏省苏州市高*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 用于 芯片 自动化 加工 装置
【权利要求书】:

1.一种用于芯片的自动化加工装置,其特征在于:包括支撑底板(1)、支撑横杆(5)、U型固定杆(7)和贴装吸嘴(39),所述支撑底板(1)上设有两个固定座(3),所述固定座(3)上安装有两个与固定座(3)方向垂直的支撑横杆(5),所述支撑横杆(5)一侧设有一第一丝杆(14),所述第一丝杆(14)的一端部连接有第一电机(10),所述第一丝杆(14)上套接有至少一个可相对第一丝杆(14)移动的第一丝杆套(141),每个第一丝杆套(141)上都连接有一个第一滑块(12),所述第一滑块(12)滑动连接在支撑横杆(5)上方的第一滑轨(6)上,每根第一滑轨(6)上设有至少一个第一滑块(12);

所述第一滑轨(6)上方滑动连接有至少一个U型固定杆(7),所述U型固定杆(7)连接在两根第一滑轨(6)同侧的第一滑块(12)上,两个所述U型固定杆(7)的凹陷部内设有一第二丝杆(15),所述第二丝杆(15)一端连接在第二电机(11)上,所述U型固定杆(7)的两凸起部上各设有一第二滑轨(13),所述第二丝杆(15)与两第二滑轨(13)一侧至少连接有一个安装贴装吸嘴(39)的固定壳(34),所述固定壳(34)可沿第二丝杆(15)与第二滑轨(13)移动,所述贴装吸嘴(39)悬空于第一横板(21)与第二横板(22)上方;

所述第一横板(21)与第二横板(22)设置有至少一组,相互平行排布在支撑底板(1)上且位于两个固定座(3)之间,每组第一横板(21)与第二横板(22)相对一侧至少设有一组用于放置芯片的第一皮带(26)和第二皮带(30),所述第一皮带(26)安装在第一横板(21)上,第二皮带(30)安装在第二横板(22)上,所述第一皮带(26)和第二皮带(30)的上表面位于同一水平面;

所述固定壳(34)为U型结构,所述固定壳(34)的凹槽内设有第一皮带轮(40)和第二皮带轮(41),所述第一皮带轮(40)连接在第四电机(33)上,所述第一皮带轮(40)和第二皮带轮(41)的外侧缠绕有第三皮带(35),所述第三皮带(35)上连接有支撑臂(43),所述支撑臂(43)的上下两侧分别连接有电机安装座(45)和限位座(44),所述电机安装座(45)和限位座(44)安装于固定壳(34)上,所述电机安装座(45)安装有第五电机(37),所述第五电机(37)的输出轴上连接有第三皮带轮(42),所述第三皮带轮(42)外侧设有第四皮带(38),所述第四皮带(38)的另一端绕接在气管(36)外侧的皮带轮上,所述气管(36)与第三皮带轮(42)可同步转动,所述气管(36)一端连接在气源上,另一端穿过支撑臂(43)和限位座(44)连接在贴装吸嘴(39)上;

所述固定座(3)上方中部位置设有视觉校正机构(301),所述视觉校正机构(301)位于贴装吸嘴(39)下方,所述贴装吸嘴(39)一侧设有用于拍摄芯片的下视相机。

2.根据权利要求1所述的用于芯片的自动化加工装置,其特征在于:所述第一皮带(26)由第一主动滑轮(27)带动转动,所述第一主动滑轮(27)与第一皮带(26)之间还设有多个第一从动滑轮(28),所述第一主动滑轮(27)与第一从动滑轮(28)安装在第一横板(21)上,所述第二皮带(30)由第二主动滑轮(31)带动转动,所述第二主动滑轮(31)与第二皮带(30)之间还设有多个第二从动滑轮(32),所述第二主动滑轮(31)与第二从动滑轮(32)安装在第二横板(22)上,所述第一主动滑轮(27)和第二主动滑轮(31)通过旋转轴(25)连接在第三电机(20)上。

3.根据权利要求1所述的用于芯片的自动化加工装置,其特征在于:所述第一横板(21)一侧设有摇把(19),所述摇把(19)的一端连接在限位杆(23)的一端,所述限位杆(23)的另一端通过皮带(24)连接至另一限位杆(23)上,通过转动摇把(19)可带动两限位杆(23)同步转动,两个所述限位杆(23)安装于第一横板(21)与第二横板(22)下方的固定座上。

4.根据权利要求1所述的用于芯片的自动化加工装置,其特征在于:所述固定壳(34)与两第二滑轨(13)通过两个第二滑块(16)连接,所述第二滑块(16)安装在固定壳(34)上且与第二滑轨(13)滑动连接,所述固定壳(34)与第二丝杆(15)通过第二丝杆套(18)连接,所述第二丝杆套(18)安装在固定壳(34)上且套接在第二丝杆(15)上。

5.根据权利要求1所述的用于芯片的自动化加工装置,其特征在于:所述第一横板(21)与第二横板(22)相对一侧各设有一块限位板(29),所述限位板(29)位于第一横板(21)与第二横板(22)的中部位置。

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