[发明专利]高频供电部件以及等离子体处理装置

权利要求书

1.一种高频供电部件,其用于供给高频电力,该高频供电部件具有:

内部导体,其形成中空；以及

外部导体,其以包围上述内部导体的方式配置,

在上述内部导体和上述外部导体的至少一者的壁面的内部设有制冷剂流路。

2.根据权利要求1所述的高频供电部件,其中,

上述内部导体用于向负载供给上述高频,

上述外部导体设置为用于使自上述负载反馈的上述高频向接地电位区域返回。

3.根据权利要求1或2所述的高频供电部件,其中,

上述制冷剂流路为螺旋构造。

4.根据权利要求3所述的高频供电部件,其中,

在上述制冷剂流路的内部形成有突起。

5.根据权利要求4所述的高频供电部件,其中,

上述突起为格子状、柱状或凸片状的部件。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的高频供电部件,其中,

上述内部导体以及上述外部导体为同轴构造。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的高频供电部件,其中,

上述内部导体以及上述外部导体为弯曲构造。

8.一种等离子体处理装置,其具有用于供给高频电力的高频供电部件,

上述高频供电部件具有：

内部导体,其形成中空；以及

外部导体,其以包围上述内部导体的方式配置,

在上述内部导体和上述外部导体的至少一者的壁面的内部设有制冷剂流路。

9.根据权利要求8所述的等离子体处理装置,其中,

上述内部导体用于向负载供给上述高频,

上述外部导体设置为用于使自上述负载反馈的上述高频向接地电位区域返回。

10.根据权利要求8或9所述的等离子体处理装置,其中,

上述高频供电部件与下部电极和/或上部电极连接。