[发明专利]一种反熔丝单元工艺质量监控测试电路有效

专利信息
申请号: 202110644497.0 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN113380655B 公开(公告)日: 2022-08-16
发明(设计)人: 郑若成;王印权;郑良晨;胡君彪;郝新焱 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第五十八研究所
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/67
代理公司: 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 代理人: 杨立秋
地址: 214000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 反熔丝 单元 工艺 质量 监控 测试 电路
【权利要求书】:

1.一种反熔丝单元工艺质量监控测试电路,包括译码器、存储器、灵敏放大器、编程模块、控制模块和电源端口VDD端、VCC端与GND端,其特征在于,所述译码器、存储器和灵敏放大器依次连接在一起,所述灵敏放大器,编程模块并联在一起,所述灵敏放大器和所述编程模块均与所述控制模块相连,所述译码器上连接有输入端口Am-A0端和An-Am+1端,所述灵敏放大器和编程模块上并联有输出端口DQn~DQ0,所述存储器上连接有电阻校验端口R1和R2,所述控制模块上设有输入端、端和端,所述编程模块和VCC端连接在一起;所述存储器包括选择管M1、选择管M2,限流管M3、限流管M4以及高压隔离管M5,反熔丝单元AF1、反熔丝单元AF2,连接节点S1、连接节点S2,状态节点Q1、状态节点Q2,输入使能CE_OE_PE,行列地址BL、行列地址WL1,WL2,选择管M1和选择管M2栅极连接在一起,选择管M1和限流管M3源漏相连,其连接点为S1节点;选择管M2和限流管M4源漏相连,其连接点为S2节点;反熔丝单元AF1与选择管M1并联,反熔丝单元AF2与选择管M2并联;高压隔离管M5源漏分别连接状态节点Q1和Q2,状态节点Q1连接行列地址BL;限流管M3的栅端连接行列地址WL1,源端接地;限流管M4的栅端连接行列地址WL2,源端接地;选择管M1和选择管M2的漏极连接状态节点Q1。

2.根据权利要求1所述的一种反熔丝单元工艺质量监控测试电路,其特征在于:存储器包括读出电路,所述读出电路包括上拉管M6以及反相器INV1,状态节点Q2、Q3,高压隔离管M5为存储阵列输出隔离管,对应输出状态节点Q2连接在M6源端和INV1的输入端,M6漏端连接电源,反相器INV1输出端的状态节点Q3作为读出信号最终输出。

3.根据权利要求1所述的一种反熔丝单元工艺质量监控测试电路,其特征在于:存储器容量为16kbit~1Mbit。

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