[发明专利]一种反熔丝单元工艺质量监控测试电路有效
申请号: | 202110644497.0 | 申请日: | 2021-06-09 |
公开(公告)号: | CN113380655B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 郑若成;王印权;郑良晨;胡君彪;郝新焱 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十八研究所 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人: | 杨立秋 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 反熔丝 单元 工艺 质量 监控 测试 电路 | ||
1.一种反熔丝单元工艺质量监控测试电路,包括译码器、存储器、灵敏放大器、编程模块、控制模块和电源端口VDD端、VCC端与GND端,其特征在于,所述译码器、存储器和灵敏放大器依次连接在一起,所述灵敏放大器,编程模块并联在一起,所述灵敏放大器和所述编程模块均与所述控制模块相连,所述译码器上连接有输入端口Am-A0端和An-Am+1端,所述灵敏放大器和编程模块上并联有输出端口DQn~DQ0,所述存储器上连接有电阻校验端口R1和R2,所述控制模块上设有输入端、端和端,所述编程模块和VCC端连接在一起;所述存储器包括选择管M1、选择管M2,限流管M3、限流管M4以及高压隔离管M5,反熔丝单元AF1、反熔丝单元AF2,连接节点S1、连接节点S2,状态节点Q1、状态节点Q2,输入使能CE_OE_PE,行列地址BL、行列地址WL1,WL2,选择管M1和选择管M2栅极连接在一起,选择管M1和限流管M3源漏相连,其连接点为S1节点;选择管M2和限流管M4源漏相连,其连接点为S2节点;反熔丝单元AF1与选择管M1并联,反熔丝单元AF2与选择管M2并联;高压隔离管M5源漏分别连接状态节点Q1和Q2,状态节点Q1连接行列地址BL;限流管M3的栅端连接行列地址WL1,源端接地;限流管M4的栅端连接行列地址WL2,源端接地;选择管M1和选择管M2的漏极连接状态节点Q1。
2.根据权利要求1所述的一种反熔丝单元工艺质量监控测试电路,其特征在于:存储器包括读出电路,所述读出电路包括上拉管M6以及反相器INV1,状态节点Q2、Q3,高压隔离管M5为存储阵列输出隔离管,对应输出状态节点Q2连接在M6源端和INV1的输入端,M6漏端连接电源,反相器INV1输出端的状态节点Q3作为读出信号最终输出。
3.根据权利要求1所述的一种反熔丝单元工艺质量监控测试电路,其特征在于:存储器容量为16kbit~1Mbit。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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