[发明专利]基于金属-半导体-金属结构的透明紫外光电探测器在审
| 申请号： | 202110578032.X | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113380906A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 杨柳;贺谐;何赛灵 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L31/0224 | 分类号： | H01L31/0224;H01L31/108 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 金属 半导体 金属结构 透明 紫外 光电 探测器 | ||
1. 一种基于金属-半导体-金属结构的透明紫外光电探测器，其特征在于，自下而上依次为透明基底、有源层和叉指电极；所述的有源层为透明的宽禁带半导体，禁带宽度大于3.1 eV，厚度大于紫外光渗透深度；所述的叉指电极为超薄金属薄膜，厚度小于等于15 nm，可见光-近红外波段透射率大于70%；整个紫外光电探测器透明，可见光-近红外波段透射率大于65%。
2.根据权利要求1所述的基于金属-半导体-金属结构的透明紫外光电探测器，其特征在于，所述的透明基底采用刚性或柔性材料。
3.根据权利要求1所述的基于金属-半导体-金属结构的透明紫外光电探测器，其特征在于，所述的叉指电极为超薄金属薄膜，采用单一金属、金属合金、金属/介质双层结构或介质/金属/介质三层结构。
4.根据权利要求3所述的基于金属-半导体-金属结构的透明紫外光电探测器，其特征在于，所述的单一金属为银、金、铂、铜或铝；所述的金属合金为银铝合金、银铜合金、铜铝合金或掺氧的银；所述的金属/介质双层结构或介质/金属/介质三层结构中，金属为银、金、铂、铜或铝，介质为氧化锌、氧化钼、氧化铝、氧化钨、氧化钒或ITO。
5.根据权利要求1所述的基于金属-半导体-金属结构的透明紫外光电探测器，其特征在于，集成于智能玻璃窗、智能手机屏幕或者可穿戴器件，用于传感或者紫外线的监测。
6.根据权利要求1或5所述的基于金属-半导体-金属结构的透明紫外光电探测器，其特征在于，集成于电子皮肤，用于实时监测接受紫外线照射的剂量。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
