[发明专利]一种半导体光敏感复合材料及其制备方法以及应用在审
申请号: | 202110577465.3 | 申请日: | 2021-05-26 |
公开(公告)号: | CN113421933A | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 林正玺;林仕伟;艾长智 | 申请(专利权)人: | 海南聚能科技创新研究院有限公司 |
主分类号: | H01L31/0264 | 分类号: | H01L31/0264;H01L31/0296;H01L31/0328;H01L31/0216 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 任美玲 |
地址: | 571152 海南省海口市国家高新技术*** | 国省代码: | 海南;46 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 敏感 复合材料 及其 制备 方法 以及 应用 | ||
本发明提供了一种半导体复合材料,包括TiN纳米管阵列基底以及复合于所述基底表面的C3N4‑CdS复合材料层。本发明向TiO2上掺杂C3N4和CdS,从而加强其光催化的能力。通过测样发现TiN‑C3N4‑CdS的半导体复合材料,比传统的TiO2材料的光电响应提高了5倍以上。
技术领域
本发明属于催化剂技术领域,具体涉及一种半导体复合材料及其制备方法以及应用。
背景技术
从上世纪开始,由于人们广泛的利用矿物燃烧来发电,工业化的快速发展和人口膨胀,导致了能源短缺、生态破坏和环境污染3个全球性问题,目前人们迫切的需要一种可再生、无污染、普遍性的能源。如何对太阳能进行有效的利用逐渐成为科研人员的研究热点。目前,普遍生产太阳能电池的技术中所需要的材料主要有硅、非晶体硅、硫化镉、铜铟硒、碲化镉、砷化镓等。纳米级的TiO2在能源、环境、化学传感器等领域有着很大的应用前景。这跟它具有高的光电转换效率、高的催化活性、持久的耐光腐蚀性。而TiO2纳米管阵列(TNTAs)的结构有序、比表面积高和尺寸可调控。使其表达出的光催化性能和光电转化效率都很高。可是TiO2的禁带较宽,对可见光的吸收有限,这就影响了其在光催化领域的应用。
发明内容
有鉴于此,本发明要解决的技术问题在于提供一种半导体复合材料及其制备方法以及应用,本发明提供半导体复合材料,对TiO2禁带宽度进行调节,使光电响显著提高。
本发明提供了一种半导体复合材料,包括TiN纳米管阵列基底以及复合于所述基底表面的C3N4-CdS复合材料层。
优选的,所述TiN、C3N4和CdS的质量比为1:1:(0.01~0.03)。
优选的,在所述C3N4-CdS复合材料层表面还复合有硫化锌钝化层。
本发明还提供了一种上述半导体复合材料的制备方法,包括以下步骤:
A)将TiN纳米管阵列基底置于胺类前驱体水溶液中浸泡后置于氮气气氛中退火,在TiN纳米管阵列基底表面形成一层C3N4薄膜;
B)通过SILAR法将硫化镉量子点沉积C3N4薄膜表面,得到半导体复合材料。
优选的,所述TiN纳米管阵列基底的制备方法为:
1)将清洗干净的钛片作为工作电极夹到钛丝上,不锈钢片为对电极夹到铜丝上,氟化铵的乙二醇水溶液为电解液,使用可编程直流电源阳极氧化钛片后进行退火,得到TiO2纳米管阵列;
2)将所述TiO2纳米管阵列置于氨气气氛中进行梯度式升温退火处理,得到TiN纳米管阵列基底。
优选的,步骤1)中,所述阳极氧化的电压为60~65V,阳极氧化的时间为30~45min,温度为27~28℃;
步骤1)中,所述退火的温度为400~450℃,退火的时间为3~5h;
步骤2)中,所述梯度式升温退火处理的升温程序为:
第一阶段:由室温升到600℃保温1~2h;
第二阶段:600℃升到800℃保温2~3h。
优选的,步骤A)中,所述胺类前驱体水溶液选自单氰胺水溶液、双氰胺水溶液或三聚氰胺水溶液;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的