[发明专利]MicroLED显示面板及其形成方法

说明书

本发明提供一种MicroLED显示面板及其形成方法，显示面板包括：驱动晶圆、MicroLED芯片单元和微透镜阵列；所述驱动晶圆与所述MicroLED芯片单元键合，所述微透镜阵列包括阵列分布的微透镜，所述微透镜呈半球形，所述微透镜的球形表面一侧面向所述MicroLED芯片单元。如此一来，所述MicroLED芯片单元发出的光束照射至所述微透镜的球形表面折射后汇聚，MicroLED芯片单元与微透镜阵列实现更好的光学匹配，从而提高出光效率，使出射光线聚焦更集中，图像显示更清晰，提升光提取效率。

技术领域

本发明属于集成电路制造技术领域，具体涉及一种MicroLED显示面板及其形成方法。

背景技术

MicroLED(Micro light emitting diode，微型发光二极管)显示是继液晶显示与OLED显示之后新出现的下一代显示技术。MicroLED显示采用尺寸在几微米至几十微米之间的LED发光芯片(MicroLED芯片)作为像素单元，一颗一颗紧密地排列成阵列，每颗芯片都能独立地被驱动点亮发出光线。MicroLED(也称为MicroLED，mLED或μLED)。

目前的MicroLED显示面板光学匹配性欠佳，显示面板的出光效率不理想，光提取效率有待进一步提升。

发明内容

本发明的目的在于提供一种MicroLED显示面板及其形成方法，提高显示面板的光学匹配性，从而提高出光效率，使出射光线聚焦更集中，图像显示更清晰，提升光提取效率。

本发明提供一种MicroLED显示面板，包括：驱动晶圆、MicroLED芯片单元和微透镜阵列；所述驱动晶圆与所述MicroLED芯片单元键合；所述微透镜阵列包括阵列分布的微透镜，所述微透镜呈半球形，且其球形表面一侧面向所述MicroLED芯片单元。

进一步的，所述驱动晶圆包括驱动电极；所述MicroLED芯片单元包括阵列分布的芯片粒，每个所述芯片粒上分布有相互分离的共享电极和芯片电极，每个所述芯片粒上的所述共享电极电连接。

进一步的，所述共享电极和所述芯片电极分别与所述驱动电极通过键合接触或第一导电胶电实现连接。

进一步的，所述驱动电极位于所述驱动晶圆靠近所述MicroLED芯片单元的一侧表面，所述驱动电极包括若干分别与所述芯片电极对应电连接的第一电极。

进一步的，所述驱动电极包括第二电极，所述第二电极与其中一个所述共享电极电连接，且其位于其中一个所述共享电极的下方。

进一步的，所述驱动电极包括第三电极，所述第三电极与其中一个所述共享电极电连接，且其位于所述MicroLED芯片单元在所述驱动晶圆上的投影以外的区域。

进一步的，所述MicroLED芯片单元与所述微透镜阵列之间形成有光学胶层；其中，所述光学胶层的折射率范围为1.10～1.25。

进一步的，所述MicroLED芯片单元还包括：光学膜层和位于所述光学膜层上的衬底，所述阵列分布的芯片粒形成于所述衬底上；其中，所述光学膜层的折射率范围为1.35～1.55。

进一步的，一个所述芯片粒至少对应一个所述微透镜，且每个所述芯片粒对应的所述微透镜的周圈套设有准直管；其中，所述准直管的材质包括钨、铝、白色光阻剂或黑色光阻剂中的任意一种。

进一步的，所述微透镜的折射率范围为1.80～2.00；所述微透镜阵列远离所述MicroLED芯片单元的一侧形成有基板和/或抗反射膜层，所述基板的折射率范围为1.80～2.00，所述基板的厚度范围为150μm～700μm。

本发明还一种MicroLED显示面板的形成方法，包括：

提供微透镜阵列，所述微透镜阵列包括阵列分布的微透镜，且所述微透镜呈半球形；