[发明专利]一种高产酸的酰亚胺磺酸酯类光产酸剂、组合物及应用在审
申请号: | 202110305231.3 | 申请日: | 2021-03-18 |
公开(公告)号: | CN115109046A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 钱晓春;龚艳;姜超;徐丽萍 | 申请(专利权)人: | 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司 |
主分类号: | C07D409/04 | 分类号: | C07D409/04;G03F7/004 |
代理公司: | 北京汉德知识产权代理事务所(普通合伙) 11328 | 代理人: | 刘子文;徐驰 |
地址: | 213159 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高产 亚胺 磺酸酯类光产酸剂 组合 应用 | ||
1.一种酰亚胺磺酸酯类光产酸剂,具有如下通式(A1)或(A2)所示结构:
其中,
R1表示C1-C20的直链或支链的烷基、C3-C20的环状烷基、C1-C20的直链或支链的氟代烷基、C3-C20的氟代环状烷基、C6-C18的取代或未取代的芳基、樟脑基、或叠氮萘酮基团;
R2、R3、R4和R4”可相同也可不同,各自独立地选自下列基团:氢;硝基;直链或支链的烷基、或环烷基,任选地,其中的-CH2-可以被-O-、-S-所取代,烃基上的氢可以部分或全部被取代;芳香基(如苯基、萘基等),任选地,其中的芳环上的氢可以被卤素、烷基、烷氧基、硫醚基、酰基或酯基所取代;C7-C20的苯基烷基,任选地,苯基上的至少一个氢原子可以被C1-C8的烷基所取代,烷基中的-CH2-可以被-O-、-S-或-NH-所取代;R1’-CO-,其中R1’表示C1-C10的烷基、C3-C10的环烷基、苯基,任选地,苯基中的至少一个氢原子可以被C1-C8的烷基或烷氧基所取代;R2’-CO-O-R3’-,其中R2’表示C1-C10的烷基、苯基,任选地,苯基中的至少一个氢原子可以被C1-C8的烷基所取代,R3’表示空、C1-C8的亚烷氧基、或C3-C8的亚炔基;R4’-O-CO-R5’-,其中R4’表示C1-C10的烷基,R5’表示C1-C10的亚烷基;直链或支链的烯基、含环烷基或芳基的烯基,任选地,其中的烃基上的氢可以部分或全部被取代;直链或支链的炔基,含环烷基或芳基的炔基,任选地,其中的烃基上的氢可以部分或全部被取代;烷基磺酰氧基,含环烷基或芳基的磺酰氧基,任选地,烷基上的氢可以部分或全部被取代;烷基硅烷基,含环烷基的硅烷基,任选地,烷基上的氢可以部分或全部被取代;含N、S或O的杂环基;
R2和R3可彼此相连以形成五元环或六元环;
前提是,通式(A1)中R2、R3和R4不同时为氢,通式(A2)中R2、R3和R4”不同时为氢。
2.根据权利要求1所述的酰亚胺磺酸酯类光产酸剂,其特征在于,R1选自下列基团:C1-C8的直链或支链的烷基;C1-C8的直链或支链的全氟代烷基;全氟代苯基;至少一个氢原子被C1-C6的直链或支链的烷基或氟代烷基、或者胺基所取代的苯基;樟脑基;叠氮萘酮基团。
3.根据权利要求2所述的酰亚胺磺酸酯类光产酸剂,其特征在于:R1选自甲基、丙基、辛基、全氟代甲基、全氟代乙基、全氟代丙基、全氟代丁基、全氟代戊基、全氟代苯基、樟脑基、叠氮萘酮基团、对甲基苯基、对胺基苯基、间异丙基苯基、或全氟代甲基苯基。
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