[发明专利]一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂及其合成方法在审

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申请号: 202011541791.0 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN112645849A 公开(公告)日: 2021-04-13
发明(设计)人: 潘惠英;蒋小惠;李嫚嫚;贺宝元;毕景峰 申请(专利权)人: 上海博栋化学科技有限公司
主分类号: C07C309/12 分类号: C07C309/12;C07C309/17;C07C303/32;C07D333/46;G03F7/004
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201614 上海市松江*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂,涉及光产酸剂领域,一种由松香酸合成的磺酸锍盐类光产酸剂,其结构式为:其中,R1以及其它含氧的连接基团,R2为氟代烷基。光产酸剂可以降低光产酸剂的扩散,改善边缘粗糙度,减小线宽粗糙度,提高分辨率;在193nm下更具透明性,有利于193nm光源下的曝光;具有优良的耐刻蚀性能;亲水亲油平衡,既具有合适的粘附力,又具有优秀的溶解性,溶解更加均匀,并且合成路线简单。
搜索关键词: 一种 松香 合成 磺酸锍 盐类 光产酸剂 及其 方法
【主权项】:
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