[发明专利]一种内嵌高导热材料的铝硅壳体及其制备方法在审
申请号: | 202110290283.8 | 申请日: | 2021-03-18 |
公开(公告)号: | CN115116992A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 张忠政;鲍桐;张志同;于世杰;铁鹏;陈建辉;马学焕;李军;何世安;陈宇鹏;朱魁章 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十六研究所 |
主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373;H01L23/06;H01L21/52;H01L21/48 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 奚华保 |
地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 内嵌高 导热 材料 壳体 及其 制备 方法 | ||
1.一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,包括铝硅壳体(1),其特征在于,所述铝硅壳体(1)一端镶嵌有内嵌部(2),所述铝硅壳体(1)一侧开设有安装通孔(8),所述内嵌部(2)固定连接于所述安装通孔(8)内,所述内嵌部(2)为高导热材料。
2.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,其特征在于,所述铝硅壳体(1)包括壳体围框(7)以及固定连接于所述壳体围框(7)一端铝硅盖板(4),所述安装通孔(8)位于所述壳体围框(7)上远离所述铝硅盖板(4)的一端。
3.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,其特征在于,所述铝硅壳体(1)在安装通孔(8)内壁处开设有台阶(6),所述内嵌部(2)与所述安装通孔(8)连接处设有与所述台阶(6)配合的阶梯。
4.根据权利要求3所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,其特征在于,所述台阶(6)上设有连接部(3),所述连接部(3)为预成型焊片,所述连接部(3)的厚度为30-100μm,所述预成型焊片为低温共晶钎料,所述预成型焊片的熔点小于所述内嵌部(2)的熔点。
5.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体,其特征在于,所述内嵌部(2)为圆形或矩形,所述内嵌部(2)上端设有用于安装芯片(5)的贴装区,所述贴装区在所述内嵌部(2)所在平面上的投影不超出所述内嵌部(2)的边缘,所述内嵌部(2)与所述芯片(5)的膨胀系数差异不大于20%。
6.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体及其制备方法,其特征在于,所述内嵌部(2)为钼铜或铜钼铜或金刚石铜材质,所述内嵌部(2)上端设有金属氧化层,所述金属氧化层为镍金镀层,镍层厚度3-6μm,金层厚度0.6-1μm。
7.用于权利要求1-6任意一项的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、根据所要封装的芯片(5)选择合适的材质的内嵌部(2);
S2、在壳体围框(7)下端开设安装通孔(8);
S3、将内嵌部(2)固定连接于所述安装通孔(8)内;
S4、将芯片(5)贴装桩内嵌部(2)上;
S5、将铝硅盖板(4)封装到壳体围框(7)上端,形成封闭结构的铝硅壳体(1)。
8.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体制备方法,其特征在于,所述内嵌部(2)为钼铜或铜钼铜或金刚石铜材料,通过调整钼铜或铜钼铜或金刚石铜材料的成分配比,使得钼铜或铜钼铜或金刚石铜材质的内嵌部(2)的热膨胀系数与芯片适配,使得所述内嵌部(2)与所述芯片(5)的膨胀系数差异不大于20%。
9.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体制备方法,其特征在于,所述铝硅壳体(1)为铝硅复合材料,铝硅壳体(1)中壳体围框(7)中的硅含量为50%,铝硅壳体(1)中铝硅盖板(4)中的硅含量27%,铝硅盖板(4)与所述壳体围框(7)通过激光焊接连接,形成气密性腔体。
10.根据权利要求1所述的一种内嵌高导热材料的铝硅壳体制备方法,其特征在于,所述壳体围框(7)下部加工台阶结构的安装通孔(8),安装通孔(8)为圆形或矩形结构,将内嵌部加工成相应的形状,在安装通孔(8)与内嵌部(2)的搭接区域放置连接部(3),连接部(3)为预成型的焊片,所述预成型焊片为低温共晶钎料,所述预成型焊片的熔点小于所述内嵌部(2)的熔点,钎料熔点温度不超过450℃。
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