[发明专利]缺陷表征方法和装置

权利要求书

1.一种缺陷表征方法，其特征在于，包括：

获取第一扫描图像及所述第一扫描图像中的目标缺陷坐标；

根据所述第一扫描图像中的所述目标缺陷坐标获取第一缺陷图像；所述第一缺陷图像包含目标缺陷所在的缺陷区和不包含所述目标缺陷的噪音区；

标记所述噪音区，对所述缺陷区执行ADR计算，获取所述缺陷区中缺陷的像素等级值；

获取具有最大像素等级值的缺陷的坐标，以所述具有最大像素等级值的缺陷的坐标为中心点坐标，局部放大所述第一缺陷图像，以获取第二缺陷图像；

判断所述具有最大像素等级值的缺陷是否为第一扫描图像中的所述目标缺陷：

若是，根据所述第二缺陷图像对所述具有最大像素等级值的缺陷进行分类；

若否，则返回对所述第一缺陷图像中包含所述具有最大像素等级值的缺陷的缺陷区标记，对缺陷区中的未标记区进行ADR计算，再次获取所述具有最大像素等级值的缺陷，判断所述具有最大像素等级值的缺陷是否为第一扫描图像中的所述目标缺陷，直至所述具有最大像素等级值的缺陷为第一扫描图像中的所述目标缺陷。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过检查系统获取所述第一扫描图像，所述检查系统包括激光扫描图案化缺陷检查系统；

通过检查系统获取所述第一缺陷图像和所述第二缺陷图像，所述检查系统包括复查扫描电子显微镜。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述第一扫描图像中的所述目标缺陷坐标获取第一缺陷图像的步骤包括：

以所述目标缺陷坐标为中心点坐标获取包含目标缺陷的第一缺陷图像。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一缺陷图像的分辨率大于所述第一扫描图像的分辨率。

5.一种缺陷表征装置，其特征在于，包括：

检查模块，用于获取第一扫描图像及所述第一扫描图像中的目标缺陷坐标；

复查模块，用于根据所述第一扫描图像中的所述目标缺陷坐标获取第一缺陷图像，所述第一缺陷图像包括包含目标缺陷所在的缺陷区和不包含所述目标缺陷的噪音区；

处理模块，标记所述噪音区，对所述缺陷区执行ADR计算 ，获取所述缺陷区中缺陷的像素等级值；

所述复查模块还用于获取具有最大像素等级值的缺陷的坐标，以所述具有最大像素等级值的缺陷的坐标为中心点坐标，局部放大第一缺陷图像，以获取第二缺陷图像；

判断模块，用于判断所述具有最大像素等级值的缺陷是否为第一扫描图像中的所述目标缺陷：

若是，输出模块用于根据所述第二缺陷图像对所述具有最大像素等级值的缺陷进行分类；

若否，则返回对所述第一缺陷图像中包含所述具有最大像素等级值的缺陷的缺陷区进行标记，对所述缺陷区中的未标记区进行ADR计算，再次获取所述具有最大像素等级值的缺陷，判断所述具有最大像素等级值的缺陷是否为第一扫描图像中的所述目标缺陷，直至所述具有最大像素等级值的缺陷为第一扫描图像中的所述目标缺陷。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于：

所述检查模块包括激光扫描图案化缺陷检查系统；

所述复查模块包括复查扫描电子显微镜。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述复查模块还用于：

以所述目标缺陷坐标为中心点坐标获取包含目标缺陷的第一缺陷图像。

8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一缺陷图像的分辨率大于所述第一扫描图像的分辨率。

9.一种终端设备，其特征在于，包括存储器，处理器和收发器，所述存储器用于存储指令，所述收发器用于和其他设备通信，所述处理器用于执行所述存储器中存储的指令，以使所述终端设备执行权利要求1-4任一项所述的缺陷表征方法。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，当所述指令被执行时，使得计算机执行权利要求1-4中任一项所述的缺陷表征方法。

11.一种计算机程序产品，包括计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时，实现权利要求1-4中任一项所述的缺陷表征方法。