[发明专利]驱动背板的制作方法、驱动背板及显示装置

权利要求书

1.一种驱动背板，其特征在于，包括：

薄膜晶体管；

氧化铟锡ITO电极；

金属连接层，位于所述薄膜晶体管与所述氧化铟锡ITO电极之间；

第一有机平坦化层，位于所述氧化铟锡ITO电极与所述金属连接层之间。

2.如权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述第一有机平坦化层采用有机绝缘感光材料。

3.如权利要求1或2所述的驱动背板，其特征在于，所述第一有机平坦化层的厚度为大于2000nm。

4.如权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述氧化铟锡ITO电极通过所述金属连接层与所述薄膜晶体管电性连接。

5.如权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述驱动背板还包括：

第二有机平坦化层，位于所述薄膜晶体管和所述金属连接层之间。

6.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括如权利要求1-5任一项所述的驱动背板。

7.一种驱动背板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

形成薄膜晶体管和金属连接层；

在所述金属连接层上，形成第一有机平坦化层；

在所述第一有机平坦化层上沉积氧化铟锡ITO电极层，并形成氧化铟锡ITO电极。

8.根据权利要求7所述的驱动背板的制作方法，其特征在于，所述在所述金属连接层上，形成第一有机平坦化层，包括：

采用涂布工艺，在所述金属连接层上涂布形成第一有机平坦化层。

9.根据权利要求7所述的驱动背板的制作方法，其特征在于，采用涂布工艺，在所述金属连接层上涂布形成第一有机平坦化层，包括：

在所述金属连接层上涂布有机绝缘感光材料；

通过高温烘烤去除所述有机绝缘感光材料中的溶剂部分，形成所述第一有机平坦化层。

10.根据权利要求7所述的驱动背板的制作方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述薄膜晶体管和所述金属连接层之间形成第二有机平坦化层；

对所述第一有机平坦化层和所述第二有机平坦化层进行过孔工艺，使所述氧化铟锡ITO电极通过所述金属连接层与所述薄膜晶体管电性连接。