[发明专利]将物品移动到处理站的装置和方法、输送系统和处理设备

权利要求书

1.一种装置，其用于将包括至少衬底(2)的物品移动通过处理设备的处理站(1a,b)的开口侧，所述装置包括：

至少一个支撑件(26；26')，其可放置在所述处理站(1a,b)处，

至少一个载架(27a,b；27'a,b)，其各从导引以沿主要平行于参考坐标系中的参考轴线(z)定向的相应路径相对于所述一或多个支撑件(26；26')移动；

至少一个装置(29a,b,30a,b,31a,b；37a,b)，其用于控制所述载架(27a,b；27'a,b)中的至少一个的移动且驱动沿所述路径在相反方向中的至少一个上的移动；

组件(21；21')，其用于固持所述物品；以及

悬挂机构，所述固持组件(21；21')通过所述悬挂机构连接到所述至少一个载架(27a,b；27'a,b)，

其中所述悬挂机构布置成导引所述固持组件(21；21')沿固持组件(21；21')路径相对于所述至少一个载架(27a,b；27'a,b)的移动，且

其中所述装置(29a,b,30a,b,31a,b；37a,b)布置成驱动所述固持组件(21；21')沿所述固持组件路径在至少一个方向上的移动，其特征在于

所述固持组件路径主要平行于所述参考轴线(z)定向。

2.根据权利要求1所述的装置，

其中用于控制所述载架(27a,b；27'a,b)中的至少一个的移动的所述装置(29a,b,30a,b,31a,b；37a,b)中的至少一个还布置成驱动所述固持组件(21；21')的移动。

3.根据权利要求2所述的装置，

其中至少一个载架(27a,b；27'a,b)具备可移动地支承到所述载架(27a,b；27'a,b)的部件(32a,b；42,48)，

其中所述载架(27a,b；27'a,b)导引以沿所述支撑件(26；26')中的一个移动通过特征(35；50)，所述特征(35；50)布置成沿所述支撑件(26；26')从沿所述载架(27a,b；27'a,b)的所述路径的至少某一位置接合所述可移动部件(32a,b；42,48)，且

其中所述悬挂机构包括用于将所述可移动部件(32a,b；42,48)相对于所述载架(27a,b；27'a,b)的移动转换成所述固持组件(21；21')相对于所述载架(27a,b；27'a,b)的移动的机构。

4.根据权利要求3所述的装置，

其中所述可移动部件(42,48)导引以在至少大致平行于所述参考轴线(z)定向的方向上相对于所述载架(27'a)线性运动，且

其中用于将所述可移动部件(42,48)相对于所述载架(27'a,b)的移动转换成所述固持组件(21')相对于所述载架(27'a,b)的移动的所述机构包括导引以在至少大致平行于所述固持组件路径定向的方向上相对于所述载架(27'a,b)线性运动的另一可移动部件(41,47)，以及用于在所述可移动部件(42,48)与所述另一可移动部件(41,47)之间传递力的力传递装置。

5.根据权利要求4所述的装置，

其中所述力传递装置包括将所述可移动部件(42,48)与所述另一可移动部件(41,47)相互连接且围绕可旋转地支承到所述载架(27'a)的轮子(44)缠绕的媒介(43)。

6.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，

其中所述载架(27a,b；27'a,b)、所述悬挂机构以及所述固持组件(21；21')形成平面连杆。

7.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，

其中所述参考轴线(z)为参考坐标系中的第一参考轴线，所述参考坐标系进一步包括垂直于所述第一参考轴线(z)的第二参考轴线(y)，所述第一参考轴线(z)与所述第二参考轴线(y)一起限定平行于所述固持组件路径所位于的平面的平面，且

其中所述装置包含至少两个载架(27a,b；27'a,b)，在平行于所述第二参考轴线(y)的方向上看，所述至少两个载架导引以在所述固持组件(21；21')的相对侧上移动。