[发明专利]检查装置、检查方法及检查程序、以及学习装置、学习方法及学习程序

说明书

提供一种检查装置，其具备：对象影像取得部，其取得对检查对象进行拍摄而得的对象影像；对象影像遮蔽部，其遮蔽对象影像的一部分；遮蔽区域预测部，其针对对象影像中的被遮蔽的遮蔽区域的影像加以预测；再现影像产生部，其使用针对复数个遮蔽区域的各者所预测出的复数个预测影像，来产生再现影像；及，差异检测部，其检测对象影像和再现影像的差异。

技术领域

本发明关于检查装置、检查方法及检查程序、以及学习装置、学习方法及学习程序。

背景技术

先前为了判定检查对象的好坏而进行外观检查。例如在适用于半导体试验的探针的外观检查中，将拍摄探针而得的影像加以数值化，并遵照预先决定的规则来对已数值化的数据进行评价，由此判定探针的好坏。

发明所要解决的问题

然而，要对检查对象进行检查时，希望能够轻易地掌握检查对象的状态。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的第1方面提供一种检查装置。检查装置可具备对象影像取得部，其取得对检查对象进行拍摄而得的对象影像。检查装置可具备对象影像遮蔽部，其遮蔽对象影像的一部分。检查装置可具备遮蔽区域预测部，其预测对象影像中的被遮蔽的遮蔽区域的影像。检查装置可具备再现影像产生部，其使用针对复数个遮蔽区域的各者所预测出的复数个预测影像，来产生再现影像。检查装置可具备差异检测部，其检测对象影像和再现影像的差异。

差异检测部可对每个预先决定的区域比较对象影像和再现影像，并算出每个预先决定的区域的差异的程度。

检查装置可进一步具备判定部，当差异的程度未满足预先决定的质量时，判定检查对象为不良品。

判定部在当每个预先决定的区域的差异的程度之中，最大的差异的程度超过预先决定的阈值时，可判定检查对象为不良品。

判定部在当已判定检查对象为不良品时，利用对被判定为不良品的检查对象拍摄而得的对象影像，预测检查对象的电特性，并且当电特性未满足预先决定的质量时，可确定检查对象为不良品。

判定部在当已判定检查对象为不良品时，利用对被判定为不良品的检查对象拍摄而得的对象影像，预测检查对象的电特性，并且当电特性满足预先决定的质量时，可确定检查对象为良品。

差异检测部输出检测地图，所述检测地图对应差异的程度而使每个预先决定的区域的显示态样有所不同。

差异检测部，基于对象影像与再现影像的欧几里德距离来算出差异的程度。

对象影像遮蔽部依序遮蔽将对象影像分割而得的复数个单元格之中的1个单元格；再现影像产生部使用针对不同单元格的各者所预测出的复数个预测影像来产生再现影像。

对象影像取得部取得对检查对象进行拍摄所获得的影像再加以灰阶化后的影像，以作为对象影像。

对象影像取得部取得在对检查对象进行拍摄所获得的影像中，对检查对象进行对象检测而窄化过对象区域的影像，以作为对象影像。

本发明的第2方面提供一种检查方法。检查方法可具备以下步骤：取得对检查对象进行拍摄而得的对象影像；遮蔽对象影像的一部分；针对对象影像中的被遮蔽的遮蔽区域的影像加以预测；使用针对复数个遮蔽区域的各者所预测出的复数个预测影像，来产生再现影像；及，检测对象影像和再现影像的差异。

本发明的第3方面提供一种检查程序。检查程序可通过计算机来执行并使所述计算机作为以下手段来发挥功能：对象影像取得部，其取得对检查对象进行拍摄而得的对象影像；对象影像遮蔽部，其遮蔽对象影像的一部分；遮蔽区域预测部，其针对对象影像中的被遮蔽的遮蔽区域的影像加以预测；再现影像产生部，其使用针对复数个遮蔽区域的各者所预测出的复数个预测影像，来产生再现影像；及，差异检测部，其检测对象影像和再现影像的差异。