[实用新型]一种电力半导体高温扩散炉管有效
| 申请号: | 202022957772.8 | 申请日: | 2020-12-09 |
| 公开(公告)号: | CN213459664U | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
| 发明(设计)人: | 夏清波 | 申请(专利权)人: | 襄阳市众力电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 441002 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电力 半导体 高温 扩散 炉管 | ||
1.一种电力半导体高温扩散炉管,包括扩散炉管外体(1)和第一输气管道(9),其特征在于:所述扩散炉管外体(1)的上方安装有冷气进口(7),且扩散炉管外体(1)与冷气进口(7)通过螺栓固定连接,所述扩散炉管外体(1)的下方安装有冷气出口(8),且扩散炉管外体(1)与冷气出口(8)通过螺栓固定连接,所述扩散炉管外体(1)的内部安装有散热压铸铝(12),且扩散炉管外体(1)与散热压铸铝(12)通过螺栓固定连接,所述散热压铸铝(12)的内部设置有扩散炉管本体(14),所述扩散炉管本体(14)的外侧设置有降温环管(13),所述降温环管(13)分别与冷气进口(7)、冷气出口(8)螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种电力半导体高温扩散炉管,其特征在于:所述扩散炉管外体(1)的一侧设置有端盖(3),所述端盖(3)的一侧安装有密封环(2),且端盖(3)与密封环(2)通过螺栓固定连接,所述端盖(3)的一侧安装有把手(4),且端盖(3)与把手(4)通过螺栓固定连接,所述端盖(3)的内部设置有观察孔(18)。
3.根据权利要求2所述的一种电力半导体高温扩散炉管,其特征在于:所述端盖(3)的一侧安装有合页(15),且端盖(3)与合页(15)通过螺栓固定连接,所述端盖(3)的一侧设置有封盖(17),且端盖(3)与封盖(17)通过合页(15)转动连接,所述封盖(17)的一侧安装有拉手(16),且封盖(17)与拉手(16)焊接连接。
4.根据权利要求1所述的一种电力半导体高温扩散炉管,其特征在于:所述扩散炉管外体(1)的前端面上安装有绝缘块(6),且扩散炉管外体(1)与绝缘块(6)通过螺栓固定连接,所述绝缘块(6)的前端面上安装有导电铜片(5),且绝缘块(6)与导电铜片(5)通过螺栓固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种电力半导体高温扩散炉管,其特征在于:所述第一输气管道(9)的一侧安装有缓冲管道(10),且第一输气管道(9)与缓冲管道(10)通过法兰固定连接,所述缓冲管道(10)的一侧安装有第二输气管道(11),且缓冲管道(10)与第二输气管道(11)通过法兰固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种电力半导体高温扩散炉管,其特征在于:所述缓冲管道(10)的内部安装有挡板(19),且缓冲管道(10)与挡板(19)通过螺栓固定连接,所述挡板(19)的一侧安装有分流块(20),且挡板(19)与分流块(20)焊接连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





