[实用新型]一种自走机器人

说明书

本实用新型提供一种自走机器人，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运物料；所述控制器用于控制所述控制系统。本实用新型的有益效果是有效的解决自走式机器人系统稳定性差，可靠性差，现场实施耗时费力且整体成本高，不能大规模生产的问题。

技术领域

本实用新型属于半导体制造领域，尤其是涉及一种自走机器人。

背景技术

在半导体硅单晶制造领域中,使用避免人工接触产品的自走式机器人进行产品的搬运，上下料是一种高效安全的自动化搬运方式。该方式自诞生以来，被多家半导体厂家尝试使用，随着越来越多自走式机器人在半导体车间应用，传统的基于多控制器协同工作的自走式机器人的效率问题，稳定性问题，部署和修改问题都逐渐地暴露出来，且多控制器和控制系统也导致产品制造成本高，造成在行业内半导体搬运自行走机器人始终属于试用阶段，没有形成大批量商业化发展。传统上的，2-3个互相通讯的控制器，逐一进行设置，逐一设置的过程需要注意各个控制器设置的顺序，彼此的关系，操作的过程容易出现错误，设置的结果可靠性和稳定性也存在问题，这对于高疲劳强度的半导体产业来说，是灾难性的。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种自走机器人，有效的解决自走式机器人系统稳定性差，可靠性差，现场实施耗时费力且整体成本高，不能大规模生产的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种自走机器人，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运物料；所述控制器用于控制所述控制系统。

优选地，所述控制系统包括AGV控制系统和机器人控制系统，所述AGV控制系统设置在底盘上，用于控制所述自走机器人移动；所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运所述物料。

优选地，所述AGV控制系统还包括AGV电机控制系统和AGV传感器，所述AGV电机控制系统设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人是否移动；所述AGV传感器设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人的移动方向。

优选地，所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在载台上，用于检测所述载台上是否存在所述物料；所述视觉传感器设置在所述自走机器人上，用于检测所述物料的位置。

优选地，所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，用于发射信息控制所述控制系统。

由于单一控制器的设计，使得工作人员不用同时控制2-3个控制器，解决机器不协调配合、不稳定、现场实施耗时费力的问题；由于自走机器人的设计，解决了系统稳定性差，可靠性差，现场实施耗时费力且整体成本高，不能大规模生产的问题。

附图说明

图1是本实用新型实施例一种自走机器人控制系统结构示意图

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明：

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的一个实施例中，如图1一种自走机器人控制系统结构示意图所示：一种自走机器人，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运硅片载具；所述控制器用于控制所述控制系统。