[实用新型]机械手的移动机构

说明书

本申请公开了一种机械手的移动机构，包括竖板及移动板，所述竖板上下设有一对滑杆，所述移动板通过滑块与滑杆滑动连接，所述竖板上设有与滑杆平行的齿条，所述移动板上设有驱动电机，所述驱动电机的输出端设有与齿条啮合的齿轮，所述移动板背离竖板的端面上固定有机械爪。该移动机构通过齿轮齿条驱动的方式平移移动板，避免发生油污落入清洗槽的情况，保证清洗效果，并且齿轮齿条成本低，减少成本。

技术领域

本申请涉及硅片清洗领域，特别是一种机械手的移动机构。

背景技术

现有技术中，半导体清洗机在清洗时，对花篮的移动通常由丝杆传动的方式进行横向移动，在实际使用过程中，丝杆在转动时容易将涂抹的润滑油甩落至清洗槽内，影响清洗效果，且成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种机械手的移动机构，以克服现有技术中的不足。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

本申请实施例公开了一种机械手的移动机构，其特征在于：包括竖板及移动板，所述竖板上下设有一对滑杆，所述移动板通过滑块与滑杆滑动连接，所述竖板上设有与滑杆平行的齿条，所述移动板上设有驱动电机，所述驱动电机的输出端设有与齿条啮合的齿轮，所述移动板背离竖板的端面上固定有机械爪。

优选的，在上述的一种机械手的移动机构中，所述齿条通过齿条固定角钢与竖板固定连接。

优选的，在上述的一种机械手的移动机构中，所述齿条为斜齿条，所述齿轮为配合斜齿条的斜齿轮。

优选的，在上述的一种机械手的移动机构中，所述齿条设置在一对滑杆之间。

优选的，在上述的一种机械手的移动机构中，所述驱动电机为旋转电机。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

该移动机构通过齿轮齿条驱动的方式平移移动板，避免发生油污落入清洗槽的情况，保证清洗效果，并且齿轮齿条成本低，减少成本。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动以根据这些附图获得其他的附图。

图1所示为本实用新型具体实施例中机械手的移动机构的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参图1所示，本实施例中的机械手的移动机构，包括竖板1及移动板2，竖板1上下设有一对滑杆3，移动板2通过滑块4与滑杆3滑动连接，竖板1上设有与滑杆3平行的齿条5，移动板2上设有驱动电机6，驱动电机6的输出端设有与齿条5啮合的齿轮7，移动板2背离竖板1的端面上固定有机械爪8。

进一步的，齿条5通过齿条固定角钢9与竖板1固定连接。

进一步的，齿条5为斜齿条，齿轮7为配合斜齿条的斜齿轮。

进一步的，齿条5设置在一对滑杆3之间。

进一步的，驱动电机6为旋转电机。

在该技术方案中，该移动机构通过齿轮齿条驱动的方式平移移动板，避免发生油污落入清洗槽的情况，保证清洗效果，并且齿轮齿条成本低，减少成本。