[实用新型]常压化学气相沉积机用快速夹具

说明书

本实用新型涉及一种常压化学气相沉积机用快速夹具。其特点是包括外、内支架。外、内支架均为U形架。外、内支架横部上边分别有外、内折边，它们下边均有豁口。外支架的两个竖部外侧均有力臂。力臂的一个同端均铰接在外支架的两个竖部的根部，另一个同端间连有手柄。内支架的竖部内侧均有连杆，连杆两端和内支架的竖部根部均有销孔，外支架的竖部中间均有第一腰形孔，连杆一端的销孔、内支架竖部根部的销孔和第一腰形孔间连有第二销轴。力臂中间有销孔，该销孔与同侧的连杆另一端的销孔间连有第三销轴。外、内支架竖部的邻近外边处分别有销孔和第二腰形孔，销孔与第二腰形孔间有第四销轴。这种夹具，便于操作、不烫手，生产效率高。

技术领域

本实用新型涉及一种夹具。具体说，是用来实现常压式化学气相沉积机的排气盒与输出管间快速连接或脱开的夹具。

背景技术

在半导体晶圆生产行业都知道，常压式化学气相沉积机在运行过程中会产生废气，这些废气必须实时排除，才能保证常压式化学气相沉积机的正常运行。因此，常压式化学气相沉积机上都配有由排气盒和排气管构成的排气机构。随着常压式化学气相沉积机运行时间的增加，用于排除废气的排气盒内的粉灰会越积越多，如不及时排除，这些粉尘会堵塞排气盒的输出管，因此，常压式化学气相沉积机每运行一天即24小时，就需使排气盒与输出管间脱开，对排气盒内的粉尘进行清除。目前，排气盒的输出管口和排气管的连接端管口间的连接都是采用在二者中的一个管口上设置抱箍，连接时，采用手工将一个管口上的抱箍套在另一个管口上并旋紧抱箍的螺钉。当需排气盒与输出管间脱开时，又需采用手工旋松螺钉松开抱箍，操作起来比较麻烦，生产效率低。又由于运行后的排气盒附近温度较高，采用手工操作来松开抱箍，容易烫手。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种常压式化学沉积机用快速夹具。这种夹具，便于操作，不烫手。采用这种夹具，可提高生产效率。

本实用新型要解决的上述问题有以下技术方案实现：

本实用新型的常压化学气相沉积机用快速夹具特点是：包括外支架和内支架，所述外、内支架均是用近似长方形平板弯折而成的U形架，内支架呈同向活动状套入外支架内。外支架和内支架的横部上边分别有外折边和内折边，它们的下边均有相对应的豁口。外支架的两个竖部外侧均有力臂。所述力臂为板条状，它们的一个同端均借助第一销轴铰接在外支架的两个竖部的根部，它们的另一个同端间连有手柄。内支架的竖部内侧均有连杆，连杆两端和内支架的竖部根部均有销孔，外支架的竖部中间均有第一腰形孔，同侧的连杆一端的销孔、内支架竖部的根部销孔和外支架竖部中间的第一腰形孔间连有第二销轴。力臂的中间有销孔，该销孔与同侧的连杆另一端的销孔间连有第三销轴，连杆与力臂间的第三销轴上套有支撑套。外支架的竖部邻近外边处和内支架的竖部邻近外边处分别有销孔和第二腰形孔，所述销孔与第二腰形孔间有第四销轴。所述第一腰形孔和第二腰形孔的纵向中心线与外、内支架的竖部下边平行且位于同一水平线上。

本实用新型的进一步改进方案是，外支架的竖部下边外侧面上有限位凸头。所述限位凸头的横截面为矩形。

本实用新型的进一步改进方案是，两个力臂远离手柄的一端间的间距与外支架的竖部外侧面间的间距相同，与第一腰形孔里端相应的力臂处有用于让开第二销轴外端的弯曲部，使得第一腰形孔之外的力臂与相应外支架的竖部间留有间距。