[实用新型]常压化学气相沉积机用快速夹具有效
申请号: | 202021305991.1 | 申请日: | 2020-07-07 |
公开(公告)号: | CN212955337U | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 刘招林 | 申请(专利权)人: | 无锡柏斯威科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 无锡大扬专利事务所(普通合伙) 32248 | 代理人: | 郭丰海 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 常压 化学 沉积 快速 夹具 | ||
1.常压化学气相沉积机用快速夹具,其特征在于:包括外支架和内支架,所述外、内支架均是用近似长方形平板弯折而成的U形架,内支架呈同向活动状套入外支架内;外支架和内支架的横部上边分别有外折边和内折边,它们的下边均有相对应的豁口;外支架的两个竖部外侧均有力臂;所述力臂为板条状,它们的一个同端均借助第一销轴铰接在外支架的两个竖部的根部,它们的另一个同端间连有手柄; 内支架的竖部内侧均有连杆,连杆两端和内支架的竖部根部均有销孔,外支架的竖部中间均有第一腰形孔,同侧的连杆一端的销孔、内支架竖部的根部销孔和外支架竖部中间的第一腰形孔间连有第二销轴;力臂的中间有销孔,该销孔与同侧的连杆另一端的销孔间连有第三销轴,连杆与力臂间的第三销轴上套有支撑套;外支架的竖部邻近外边处和内支架的竖部邻近外边处分别有销孔和第二腰形孔,所述销孔与第二腰形孔间有第四销轴;所述第一腰形孔和第二腰形孔的纵向中心线与外、内支架的竖部下边平行且位于同一水平线上。
2.根据权利要求1所述的常压化学气相沉积机用快速夹具,其特征在于:外支架的竖部下边外侧面上有限位凸头。
3.根据权利要求2所述的常压化学气相沉积机用快速夹具,其特征在于:所述限位凸头的横截面为矩形。
4.根据权利要求1或2或3所述的常压化学气相沉积机用快速夹具,其特征在于:两个力臂远离手柄的一端间的间距与外支架的竖部外侧面间的间距相同,与第一腰形孔里端相应的力臂处有用于让开第二销轴外端的弯曲部,使得第一腰形孔之外的力臂与相应外支架的竖部间留有间距。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的