“刘招林”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果10个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种供酸系统-CN202320112082.3有效
发明人： 刘招林 -专利权人：无锡柏斯威科技有限公司
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及常压式化学气相沉积机的技术领域，且公开了一种供酸系统，包括存储瓶，所述存储瓶的外部固定连接有用于存储瓶和密封盖连接的螺纹接管，所述螺纹接管的外部活动连接有用于配合螺纹接管密封存储瓶的盖套。通过小弹垫和大弹垫组成的凸台结构气密垫配合连接盘组成U形槽结构和盖套内侧中空L形截面的支撑槽回转卡接密封，从而使得盖套和存储瓶外部的螺纹接管转动安装或分离过程，从而避免盖套转动带动连接盘转动使得输气管在存储瓶内部转动接触造成输气管弯折无法正常输送氮气，保证了常压式化学气相沉积机中输送氢氟酸蒸汽到履带表面的稳定性和可靠性，提高了晶圆生产的成品率。
一种系统

[实用新型]一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计-CN202123074938.2有效
发明人： 刘招林 -专利权人：无锡柏斯威科技有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01F1/44 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计，包括进气管、排气管、第一管体和第二管体，所述排气管设在进气管下方，所述第一管体固定设在进气管靠近排气管的一端，所述第二管体固定设在排气管靠近进气管的一端，所述第二管体设在第一管体下方，所述第一管体和第二管体之间形成安装腔，所述安装腔内部设有文丘里管，所述文丘里管内部开设有贯穿文丘里管的文丘里小孔，所述安装腔内部设有弹簧，所述文丘里管设在弹簧外侧，所述安装腔内部设有驱动组件。本实用新型通过弹簧将文丘里小孔内壁上积聚的粉尘及时刮除，实现自清洁功能，以保持文丘里小孔孔径不变，大大提高流量测量的精确度，保证了产品质量的稳定性。
一种用于检测粉尘气体流量清洁流量计

[实用新型]半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置-CN202023059741.7有效
发明人： 刘招林 -专利权人：无锡柏斯威科技有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置。其特点是包括筒体。所述筒体为圆筒，其口部有盖板，其筒底上有中心孔，中心孔内有缓冲管。所述缓冲管上端从所述中心孔之外伸入筒体内，其与中心孔间呈密封状连接在一起，其上端为斜切端，其下端伸出在筒底之外并作为出风口。位于筒体内的缓冲管与筒体内壁间、缓冲管的斜切端与盖板间均有过滤体。与所述斜切端高侧相应的筒壁上有进风口，该进风口位于筒体上下端之间。采用这种粉尘过滤收集装置，可降低废品率，提高产品质量。适用于对反应腔内排出的少量硅烷和氧气进行反应而形成的粉尘的过滤和收集。
半导体化学沉积粉尘过滤收集装置

[实用新型]常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置-CN202022935043.2有效
发明人： 刘招林 -专利权人：无锡柏斯威科技有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置。它包括带辊和控制器。所述带辊上套有履带。邻近带辊的履带下方有底座。其特点是：底座上有轮座，轮座上有从动轮，从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合。所述轮座上有测速传感器，测速传感器通过导线与控制器相连，控制器上连有蜂鸣器。采用这种监测报警装置，可避免因履带停止运行而导致的晶圆报废情况发生。适用于常压式化学气相沉积机履带速度的监测。
常压化学沉积履带速度监测报警装置

[实用新型]常压式化学气相沉积机用集灰箱-CN202023045139.8有效
发明人： 刘招林 -专利权人：无锡柏斯威科技有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种常压式化学气相沉积机用集灰箱。其特点是：包括箱体。所述箱两端的箱壁上部分别有进风口和排风口，箱体内腔中间有缓冲板。所述缓冲板的其板面与箱体两端的箱壁相平行，其四周与箱体左、右、上、下侧板间呈密封状连接在一起，其上部均布有小孔。缓冲板与箱体两端的箱壁间分别有第一、第二导风板，该第一、第二导风板的宽度与缓冲板相同，它们的下端均朝排风口一侧倾斜。第一导风板上端连接在进风口之上的那个箱体内壁上，其下端与箱体底板间有第一间距。第二导风板的下端连接排风口之下的那个箱体内壁上，其上端与箱体上壁间有第二间距。采用本实用新型，可降低废品率，提高产品质量。
常压化学沉积机用集灰箱

[实用新型]履带防走偏装置-CN202023046430.7有效
发明人： 刘招林 -专利权人：无锡柏斯威科技有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B65G15/64 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种履带防走偏装置。它包括履带输送机，履带输送机的辊轴两端均伸出履带的边沿之外。其特点是：辊轴外伸端上套有轴座。轴座上部有轴孔，辊轴的外伸端固定在该轴孔内。轴孔之下有第一水平通槽。轴座外侧有前后调节板，前后调节板上第二水平通槽，前后调节板借助螺栓及第一、第二水平通槽与轴座连接在一起。前后调节板之外有L形板。L形板横部与前后调节板相连，其竖部外侧有左右调节板。左右调节板邻近履带的一端外侧有销轴及压轮。压轮外圆上有周向槽。销轴之外的左右调节板上有第三水平通槽，L形板竖部有轴孔，该轴孔与第三水平通槽相对应，二者间借助螺栓连接在一起。采用这种装置，可提高产品质量。
履带防走偏装置

[实用新型]基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置-CN202021210257.7有效
发明人： 刘招林 -专利权人：无锡柏斯威科技有限公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G01N17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置。采用这种检测装置，可实时检测车间空气中的酸性物质含量，避免对操作人员健康的危害。其特点是：包括箱体、光源、晶圆片、传感器、单板计算机、显示器和报警灯，所述光源、晶圆片、传感器和单板计算机均位于箱体内，所述光源入射到晶圆片表面的入射光线的入射角和从晶圆片上表面反射的反射光线的反射角均小于90度，所述传感器位于晶圆片的反射光线上。所述显示器和报警灯均位于箱体的箱壁上，所述传感器、显示器和报警灯均通过导线与单板计算机相连。采用这种检测装置，可实时检测车间空气中的酸性物质含量，避免对操作人员健康的危害。
基于颜色识别空气腐蚀性检测装置

[实用新型]具有加热功能的履带刻蚀腔-CN202021220206.2有效
发明人： 刘招林 -专利权人：无锡柏斯威科技有限公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C16/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种具有加热功能的履带刻蚀腔。具体说，是用来除去履带上二氧化硅薄膜的具有加热功能的履带刻蚀腔。其含有腔体。所述腔体由平板和平板一面四周的腔壁而构成，所述平板上均布有喷气孔。所述腔壁的内侧面上有周向台阶，周向台阶之外依次有内封板和外封板，内封板和外封板上均有进气孔，其特点是：内封板与外封板间有加热片。所述加热片的面积小于内封板，其贴合在与外封板相邻的内封板一面上，其上有与所述进气孔相应的通孔。采用本实用新型，可提高反应效率，能完全除去履带上的多余二氧化硅薄膜。适用于常压式化学气相沉积机上。
具有加热功能履带刻蚀

[实用新型]常压化学气相沉积机用快速夹具-CN202021305991.1有效
发明人： 刘招林 -专利权人：无锡柏斯威科技有限公司
申请日： 2020-07-07 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种常压化学气相沉积机用快速夹具。其特点是包括外、内支架。外、内支架均为U形架。外、内支架横部上边分别有外、内折边，它们下边均有豁口。外支架的两个竖部外侧均有力臂。力臂的一个同端均铰接在外支架的两个竖部的根部，另一个同端间连有手柄。内支架的竖部内侧均有连杆，连杆两端和内支架的竖部根部均有销孔，外支架的竖部中间均有第一腰形孔，连杆一端的销孔、内支架竖部根部的销孔和第一腰形孔间连有第二销轴。力臂中间有销孔，该销孔与同侧的连杆另一端的销孔间连有第三销轴。外、内支架竖部的邻近外边处分别有销孔和第二腰形孔，销孔与第二腰形孔间有第四销轴。这种夹具，便于操作、不烫手，生产效率高。
常压化学沉积快速夹具

[实用新型]常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置-CN201821968764.X有效
发明人： 刘招林 -专利权人：无锡柏斯威科技有限公司
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种常压式化学气相沉积机底板刻蚀装置。它包括用于放置晶圆的底板，底板之上有下盖，下盖的口部朝下且呈密封状罩在底板的边沿上。下盖的盖顶上有进、出口，所述进、出口分别位于邻近下盖一对相对边的盖顶上。其特点是:下盖之上有上盖，上盖的口部四周呈紧密状压在下盖的盖顶边沿上。上盖的盖顶上有第一、第二孔，第一孔内有进液管，进液管下端与所述进口相连，进液管上端有盛装氢氟酸的容器，所述容器通过开关与进液管连通。第二孔内有排气管，排气管下端与出口相连，排气管上端穿过第二孔后伸出在上盖之外并连有抽风机。采用本实用新型，可提高生产效率，降低生产成本。可用来除去底板上的二氧化硅膜。
底板下盖进液管盖顶上盖排气管化学气相沉积机本实用新型进出口刻蚀装置上端常压式口部下端二氧化硅膜生产效率抽风机密封状氢氟酸并连晶圆可用连通邻近盛装穿过伸出进口出口

1
共 10 条