[实用新型]一种半导体封装清洗用装置有效

专利信息
申请号: 202020522724.3 申请日: 2020-04-11
公开(公告)号: CN211605109U 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 谷建华;刘恒奎 申请(专利权)人: 昆山成功环保科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215334 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 封装 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,包括机架(1),所述机架(1)的中下部设置有两组连接块(2),每组所述连接块(2)靠近另一组所述连接块(2)的一侧分别均设置有滑槽(3),两组所述滑槽(3)内设置有滑块(4),所述滑块(4)的顶端两侧设置有支撑杆(5),所述支撑杆(5)的顶端设置有载物盘(13),所述载物盘(13)的底端一侧设置有排液管(14),所述排液管的底端设置有电动阀门(15),所述滑块(4)的顶端且在两组所述支撑杆(5)的中间设置有夹持装置(6),所述夹持装置(6)的顶端与所述载物盘(13)的底端连接,两组所述支撑杆(5)的两侧且在所述机架(1)的内部设置有晃动装置(8),所述机架(1)的内部顶端设置有清洗液箱(9),所述清洗液箱(9)的底端设置有若干组与所述载物盘(13)相配合的清洗液孔(10),所述机架(1)的内部顶端两侧分别均设置有加热器(11),所述机架(1)的底端设置有清洗液回收区(12),所述机架(1)的侧边设置有控制面板(7)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,所述晃动装置(8)包括设置在所述滑块(4)一侧且在所述机架(1)的内部侧壁上的电缸(801),所述电缸(801)的输出轴靠近所述滑块(4)的一端设置有推板(802)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,两组所述支撑杆(5)与所述机架(1)的内壁之间分别均设置有弹簧一(803)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,所述夹持装置(6)包括设置在所述滑块(4)顶端的电机(601),所述电机(601)的输出轴靠近所述载物盘(13)的一端设置有丝杠(602),所述丝杠(602)的顶端设置有圆柱(603),所述圆柱(603)内竖直方向设置有圆孔(604),所述圆孔(604)的底端设置有螺纹孔(605),所述丝杠(602)贯穿所述螺纹孔(605)并延伸至所述圆孔(604)内。

5.根据权利要求4所述的一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,所述圆柱(603)中上部设置有两组相互垂直的滑孔(606),且两组滑孔(606)与所述圆孔(604)连通,两组所述滑孔(606)的两端分别均设置有滑杆(607),所述丝杠(602)的顶端设置有与所述滑杆(607)相配合的倒角。

6.根据权利要求5所述的一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,所述载物盘(13)的底端设置有连接管(608),且所述连接管(608)的底端延伸至所述圆柱(603)的中上部,并套设在所述圆柱(603)的外侧,所述连接管(608)的内壁上设置有与两组所述滑孔(606)相对应的安装孔(609),四组所述安装孔(609)内分别均设置有弹簧二(610)。

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