[实用新型]一种半导体封装清洗用装置有效
| 申请号: | 202020522724.3 | 申请日: | 2020-04-11 |
| 公开(公告)号: | CN211605109U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
| 发明(设计)人: | 谷建华;刘恒奎 | 申请(专利权)人: | 昆山成功环保科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215334 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 封装 清洗 装置 | ||
1.一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,包括机架(1),所述机架(1)的中下部设置有两组连接块(2),每组所述连接块(2)靠近另一组所述连接块(2)的一侧分别均设置有滑槽(3),两组所述滑槽(3)内设置有滑块(4),所述滑块(4)的顶端两侧设置有支撑杆(5),所述支撑杆(5)的顶端设置有载物盘(13),所述载物盘(13)的底端一侧设置有排液管(14),所述排液管的底端设置有电动阀门(15),所述滑块(4)的顶端且在两组所述支撑杆(5)的中间设置有夹持装置(6),所述夹持装置(6)的顶端与所述载物盘(13)的底端连接,两组所述支撑杆(5)的两侧且在所述机架(1)的内部设置有晃动装置(8),所述机架(1)的内部顶端设置有清洗液箱(9),所述清洗液箱(9)的底端设置有若干组与所述载物盘(13)相配合的清洗液孔(10),所述机架(1)的内部顶端两侧分别均设置有加热器(11),所述机架(1)的底端设置有清洗液回收区(12),所述机架(1)的侧边设置有控制面板(7)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,所述晃动装置(8)包括设置在所述滑块(4)一侧且在所述机架(1)的内部侧壁上的电缸(801),所述电缸(801)的输出轴靠近所述滑块(4)的一端设置有推板(802)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,两组所述支撑杆(5)与所述机架(1)的内壁之间分别均设置有弹簧一(803)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,所述夹持装置(6)包括设置在所述滑块(4)顶端的电机(601),所述电机(601)的输出轴靠近所述载物盘(13)的一端设置有丝杠(602),所述丝杠(602)的顶端设置有圆柱(603),所述圆柱(603)内竖直方向设置有圆孔(604),所述圆孔(604)的底端设置有螺纹孔(605),所述丝杠(602)贯穿所述螺纹孔(605)并延伸至所述圆孔(604)内。
5.根据权利要求4所述的一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,所述圆柱(603)中上部设置有两组相互垂直的滑孔(606),且两组滑孔(606)与所述圆孔(604)连通,两组所述滑孔(606)的两端分别均设置有滑杆(607),所述丝杠(602)的顶端设置有与所述滑杆(607)相配合的倒角。
6.根据权利要求5所述的一种半导体封装清洗用装置,其特征在于,所述载物盘(13)的底端设置有连接管(608),且所述连接管(608)的底端延伸至所述圆柱(603)的中上部,并套设在所述圆柱(603)的外侧,所述连接管(608)的内壁上设置有与两组所述滑孔(606)相对应的安装孔(609),四组所述安装孔(609)内分别均设置有弹簧二(610)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





