[发明专利]用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法及装置

说明书

本申请公开了一种用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法及装置，该方法包括：周期性获取半导体制造设备监控显示界面的图像并识别；当识别到所述半导体制造设备监控显示界面上显示错误提示图像时，分析所述错误提示图像得到分析结果；根据所述分析结果从数据库中对比查找与所述错误提示图像相匹配的库存图像；根据所述匹配的库存图像，运行存储于所述数据库中的对应设备停运时恢复运行操作方法的操作指令。本申请的方法能够自动恢复半导体制造设备的运行，减少了人工参与，降低了人力劳动强度，大大提高了停运解决效率，提高了工作效率，降低了人力成本。

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法及装置。

背景技术

半导体制造业是个复杂的技术领域，半导体制造设备在工艺进行过程中，若是发生设备停运的情况而没有马上恢复的话，会导致半导体元件的生产率下降。为了防止这个问题，需要通过人工对半导体制造设备进行实时的监控，投入很多的人力与物力，影响了生产效率和生产成本。

发明内容

本申请的目的是提供一种用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法及装置。为了对披露的实施例的一些方面有一个基本的理解，下面给出了简单的概括。该概括部分不是泛泛评述，也不是要确定关键/重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围。其唯一目的是用简单的形式呈现一些概念，以此作为后面的详细说明的序言。

根据本申请实施例的一个方面，提供一种用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法，包括：

周期性获取半导体制造设备监控显示界面的图像并识别；

当识别到所述半导体制造设备监控显示界面上显示错误提示图像时，分析所述错误提示图像得到分析结果；

根据所述分析结果从数据库中对比查找与所述错误提示图像相匹配的库存图像；

根据所述匹配的库存图像，运行存储于所述数据库中的对应设备停运时恢复运行操作方法的操作指令。

根据本申请实施例的另一个方面，提供一种用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的装置，包括：

监测识别模块，用于周期性获取半导体制造设备监控显示界面的图像并识别；

分析模块，用于当识别到所述半导体制造设备监控显示界面上显示错误提示图像时，分析所述错误提示图像得到分析结果；

对比查找模块，用于根据所述分析结果从数据库中对比查找与所述错误提示图像相匹配的库存图像；

运行模块，用于根据所述匹配的库存图像，运行存储于所述数据库中的对应设备停运时恢复运行操作方法的操作指令。

根据本申请实施例的另一个方面，提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序，以实现上述的用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法。

根据本申请实施例的另一个方面，提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行，以实现上述的用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法。

本申请实施例的其中一个方面提供的技术方案可以包括以下有益效果：

本申请实施例提供的用于半导体制造设备停运时自动恢复其运行的方法，对半导体制造设备监控显示界面进行监测识别，分析错误提示图像，根据分析结果对比查找与错误提示图像相匹配的库存图像，运行对应的设备停运时恢复运行操作方法的操作指令，从而自动恢复半导体制造设备的运行，减少了人工参与，降低了人力劳动强度，大大提高了停运解决效率，提高了工作效率，降低了人力成本。