[发明专利]阵列基板及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010959968.2 申请日: 2020-09-14
公开(公告)号: CN112002714B 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 吴咏波 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1333;G02F1/1343
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 刘泳麟
地址: 430079 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 阵列 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种阵列基板,其特征在于,至少包括:

衬底;

同层设置的第一电极和第二电极,位于所述衬底的上方;

第一介质层,位于所述第一电极和所述第二电极的上方,所述第一介质层对应所述第一电极的位置设置有过孔;

第一金属层,位于所述第一介质层的上方,所述第一金属层通过所述过孔与所述第一电极电性连接;

第二介质层,位于所述第一金属层的上方,所述第二介质层延伸至所述第二电极表面,并设置有通孔,所述通孔未与所述第一介质层接触;

第二金属层,位于所述第二介质层的上方,所述第二金属层通过所述通孔与所述第二电极电性连接;

所述第一电极为触控信号线,所述第二电极为漏极,所述第一介质层为平坦化层,所述第一金属层为公共电极层,所述第二介质层为钝化层,所述第二金属层为像素电极层,所述平坦化层对应所述触控信号线位置上设置所述过孔,所述公共电极层通过所述过孔与所述触控信号线电性连接,所述钝化层对应所述漏极上设置所述通孔,所述像素电极层通过所述通孔与所述漏极电性连接;其中,每个触控单元单独与所述触控信号线电性连接,所述触控信号线与触控芯片电性连接。

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述公共电极层与所述像素电极层均为透明ITO电极。

3.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述通孔表面形成有第一凹槽,所述像素电极沉积所述第一凹槽表面,所述像素电极远离所述漏极一侧形成有第二凹槽。

4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述像素电极层包括第一倾斜部、水平部以及第二倾斜部,所述第二倾斜部和所述第一倾斜部分别位于所述通孔的两侧上,所述水平部贴合于所述漏极表面且电性连接。

5.根据权利要求4所述的阵列基板,其特征在于,所述第二倾斜部和所述第一倾斜部与所述公共电极层绝缘设置。

6.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述平坦化层包括丙烯酸基树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚酰胺基树脂、聚酰亚胺基树脂、不饱和聚酯树脂、聚丙烯酸酯、聚碳酸脂类、聚酰亚胺、聚苯乙烯类中一种或一种以上的组合材料;所述钝化层为二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅中一种或一种以上的组合材料。

7.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述衬底与所述触控信号线与所述漏极之间还依次设置有栅极金属层、缓冲层、有源层以及层间绝缘层。

8.一种如权利要求1至7任一所述的阵列基板的制备方法,其特征在于,包括;

步骤S10,提供一衬底,在所述衬底上制备第一电极和第二电极,在所述第一电极和所述第二电极上制备第一绝缘层,所述第一绝缘层对应所述第一电极的位置设置过孔,在所述第一绝缘层制备第一金属层,所述第一金属层通过所述过孔与所述第一电极电性连接;

步骤S20,在所述第一金属层对应所述第二电极上方设置第一通孔,在所述第一金属层上制备第二绝缘层,所述第二绝缘层对应所述第一通孔的位置设置第二通孔,在所述第二绝缘层上制备第二金属层,所述第二金属层通过所述第二通孔与所述第二电极电性连接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司,未经武汉华星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010959968.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top