[发明专利]阵列基板及其制备方法有效
申请号: | 202010959968.2 | 申请日: | 2020-09-14 |
公开(公告)号: | CN112002714B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 吴咏波 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1333;G02F1/1343 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 刘泳麟 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 | ||
1.一种阵列基板,其特征在于,至少包括:
衬底;
同层设置的第一电极和第二电极,位于所述衬底的上方;
第一介质层,位于所述第一电极和所述第二电极的上方,所述第一介质层对应所述第一电极的位置设置有过孔;
第一金属层,位于所述第一介质层的上方,所述第一金属层通过所述过孔与所述第一电极电性连接;
第二介质层,位于所述第一金属层的上方,所述第二介质层延伸至所述第二电极表面,并设置有通孔,所述通孔未与所述第一介质层接触;
第二金属层,位于所述第二介质层的上方,所述第二金属层通过所述通孔与所述第二电极电性连接;
所述第一电极为触控信号线,所述第二电极为漏极,所述第一介质层为平坦化层,所述第一金属层为公共电极层,所述第二介质层为钝化层,所述第二金属层为像素电极层,所述平坦化层对应所述触控信号线位置上设置所述过孔,所述公共电极层通过所述过孔与所述触控信号线电性连接,所述钝化层对应所述漏极上设置所述通孔,所述像素电极层通过所述通孔与所述漏极电性连接;其中,每个触控单元单独与所述触控信号线电性连接,所述触控信号线与触控芯片电性连接。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述公共电极层与所述像素电极层均为透明ITO电极。
3.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述通孔表面形成有第一凹槽,所述像素电极沉积所述第一凹槽表面,所述像素电极远离所述漏极一侧形成有第二凹槽。
4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述像素电极层包括第一倾斜部、水平部以及第二倾斜部,所述第二倾斜部和所述第一倾斜部分别位于所述通孔的两侧上,所述水平部贴合于所述漏极表面且电性连接。
5.根据权利要求4所述的阵列基板,其特征在于,所述第二倾斜部和所述第一倾斜部与所述公共电极层绝缘设置。
6.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述平坦化层包括丙烯酸基树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚酰胺基树脂、聚酰亚胺基树脂、不饱和聚酯树脂、聚丙烯酸酯、聚碳酸脂类、聚酰亚胺、聚苯乙烯类中一种或一种以上的组合材料;所述钝化层为二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅中一种或一种以上的组合材料。
7.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述衬底与所述触控信号线与所述漏极之间还依次设置有栅极金属层、缓冲层、有源层以及层间绝缘层。
8.一种如权利要求1至7任一所述的阵列基板的制备方法,其特征在于,包括;
步骤S10,提供一衬底,在所述衬底上制备第一电极和第二电极,在所述第一电极和所述第二电极上制备第一绝缘层,所述第一绝缘层对应所述第一电极的位置设置过孔,在所述第一绝缘层制备第一金属层,所述第一金属层通过所述过孔与所述第一电极电性连接;
步骤S20,在所述第一金属层对应所述第二电极上方设置第一通孔,在所述第一金属层上制备第二绝缘层,所述第二绝缘层对应所述第一通孔的位置设置第二通孔,在所述第二绝缘层上制备第二金属层,所述第二金属层通过所述第二通孔与所述第二电极电性连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的