[发明专利]芯片缺陷立式视觉检测设备有效
申请号: | 202010435102.1 | 申请日: | 2020-05-21 |
公开(公告)号: | CN111721778B | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 林宜龙;丁克详;刘飞;滕健;黄水清;王能翔 | 申请(专利权)人: | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;B65G47/90;B65G47/52;B65G23/04 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文;黄华莲 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 缺陷 立式 视觉 检测 设备 | ||
1.一种芯片缺陷立式视觉检测设备,其特征在于,包括机架以及设于所述机架上的料盒输送机构、料盒装填机构、料条输送机构、料条装夹机构和检测机构;
所述料盒输送机构包括层叠设置的上料装置和下料装置,所述上料装置的出料侧与所述料盒装填机构相对设置,所述下料装置的进料侧与所述料盒装填机构相对设置;
所述料盒装填机构包括连接于所述机架的第一驱动装置以及设于所述第一驱动装置的活动端的料盒夹爪;
所述料条输送机构包括连接于所述机架的第二驱动装置以及设于所述第二驱动装置的活动端的料条夹爪;
所述料条装夹机构包括活动相连接的第一装夹部件和第二装夹部件,所述料条夹爪位于所述第一装夹部件和第二装夹部件之间,所述第一装夹部件和第二装夹部件相向运动或相背运动以适应多个规格尺寸的料条,位于所述第一装夹部件和第二装夹部件之间的所述料条处于检测基准面,所述检测基准面与水平面的夹角为60~70°;
所述检测机构包括相机,所述相机与所述料条装夹机构相对设置。
2.根据权利要求1所述的芯片缺陷立式视觉检测设备,其特征在于,所述上料装置包括第一主动轮、第一从动轮以及卷绕于所述第一主动轮和第一从动轮的第一上料输送带,料盒的底面抵接于所述第一上料输送带;
所述下料装置包括第二主动轮、第二从动轮以及卷绕于所述第二主动轮和第二从动轮的第一下料输送带,料盒的底面抵接于所述第一下料输送带。
3.根据权利要求2所述的芯片缺陷立式视觉检测设备,其特征在于,所述上料装置还包括第三主动轮、第三从动轮以及卷绕于所述第三主动轮和第三从动轮的第二上料输送带,所述第二上料输送带位于所述第一上料输送带的一侧且二者平行设置,所述料盒的侧面抵接于所述第二上料输送带;
所述下料装置还包括第四主动轮、第四从动轮以及卷绕于所述第四主动轮和第四从动轮的第二下料输送带,所述第二下料输送带位于所述第一下料输送带的一侧且二者平行设置,所述料盒的侧面抵接于所述第二下料输送带。
4.根据权利要求1所述的芯片缺陷立式视觉检测设备,其特征在于,所述第一驱动装置包括平行于所述检测基准面且设于所述机架的第一导轨以及垂直于所述检测基准面的第二导轨,所述第二导轨的一端设有可滑动地连接于所述第一导轨的第一滑台,所述料盒夹爪可滑动地连接于所述第二导轨。
5.根据权利要求1所述的芯片缺陷立式视觉检测设备,其特征在于,所述第二驱动装置包括平行设置且均设于所述机架的第三导轨和驱动螺杆,所述第三导轨和驱动螺杆均平行于所述检测基准面,所述料条夹爪可滑动地连接于所述第三导轨,且所述料条夹爪上设有与所述驱动螺杆配合连接的从动螺母。
6.根据权利要求1所述的芯片缺陷立式视觉检测设备,其特征在于,所述第一装夹部件包括第一装夹导轨和垂直于所述第一装夹导轨且固定连接于所述机架的调节导轨,所述第一装夹导轨可滑动地连接于所述调节导轨;
所述第二装夹部件包括固定连接于所述机架的第二装夹导轨,所述第一装夹导轨和第二装夹导轨平行设置;
所述料条的两侧分别可滑动地连接于所述第一装夹导轨和第二装夹导轨。
7.根据权利要求6所述的芯片缺陷立式视觉检测设备,其特征在于,所述料条装夹机构还包括夹持组件,所述第一装夹导轨的末端和所述第二装夹导轨的末端均设有所述夹持组件,所述相机与夹持组件相对设置;
夹持组件包括夹持气缸、第一夹持轨和第二夹持轨,所述夹持气缸的两端分别连接于所述第一夹持轨和第二夹持轨,所述第一夹持轨和第二夹持轨之间设有允许所述料条的侧边通过的间隙。
8.根据权利要求1所述的芯片缺陷立式视觉检测设备,其特征在于,所述检测机构还包括第三驱动装置;
所述第三驱动装置包括两两相垂直设置的第四导轨、第五导轨和第六导轨,所述第四导轨和第五导轨均平行于所述检测基准面,且所述第四导轨固定连接于所述机架;
所述第五导轨上设有可滑动地连接于所述第四导轨的第二滑台,所述第六导轨上设有可滑动地连接于所述第五导轨的第三滑台,所述相机可滑动地连接于所述第六导轨。
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