[发明专利]氮化铝层叠构件以及氮化铝层

说明书

本发明涉及氮化铝层叠构件以及氮化铝层。提供使用周期性地配置有凸部的蓝宝石基板来生长在表面周期性地形成有突出部的AlN层的技术。氮化铝层叠构件具备：蓝宝石基板，其具有周期性地配置有高度为500nm以下的凸部的基底面；以及氮化铝层，其设置在基底面上，且具有在各个凸部的顶部上方形成有突出部的表面。

技术领域

本发明涉及氮化铝层叠构件以及氮化铝层。

背景技术

作为例如发光二极管(LED)的制作方法，提出了在形成有周期性的凹凸形状的蓝宝石基板上使氮化铝(AlN)层生长的技术(例如参见非专利文献1)。作为蓝宝石基板的凹凸形状，已知有凹部周期性(且离散)地配置的形状、以及凸部周期性(且离散)地配置的形状。

现有技术文献

非专利文献

非专利文献1：H.Miyake等、“HVPE growth of thick AlN on trench-patternedsubstrate”、Phys Status Solidi C 8、No.5、1483-1486(2011)

发明内容

发明要解决的问题

以往的技术中，使用周期性地配置有凸部的蓝宝石基板时，会生长出不规则且杂乱的AlN晶体，因此无法使AlN层以受到控制的形态生长。

本发明的一个目的在于，提供使用周期性地配置有凸部的蓝宝石基板来生长出受到控制的形态、具体而言为在表面周期性地形成有突出部的形态的AlN层的技术。

用于解决问题的方案

根据本发明的一个实施方式，提供一种氮化铝层叠构件，其具备：

蓝宝石基板，其具有周期性地配置有高度为500nm以下的凸部的基底面；以及，

氮化铝层，其设置在前述基底面上，且具有在各个前述凸部的顶部上方形成有突出部的表面。

根据本发明的另一实施方式，提供一种氮化铝层，其具有周期性地形成有突出部的表面，

各个前述突出部具有俯视为六边形的外形，

在各个前述突出部中，前述突出部的高度大于等于前述突出部的尺寸，所述突出部的尺寸以通过前述六边形的中心的对角线的距离来规定，

在各个前述突出部中，前述突出部的尺寸为最邻近的前述突出部彼此的间距的1/2以下，所述突出部的尺寸以通过前述六边形的中心的对角线的距离来规定，

在前述突出部的外侧的表面，在前述突出部的根部形成有凹陷。

根据本发明的再一实施方式，提供一种氮化铝层，其具有周期性地形成有突出部的表面，

各个前述突出部具有俯视为六边形的外形，

在各个前述突出部中，前述突出部的高度小于前述突出部的尺寸，所述突出部的尺寸以通过前述六边形的中心的对角线的距离来规定，

在各个前述突出部中，前述突出部的尺寸大于最邻近的前述突出部彼此的间距的1/2，所述突出部的尺寸以通过前述六边形的中心的对角线的距离来规定，

在前述突出部的中央形成有隆起部。

发明的效果

可提供使用周期性地配置有凸部的蓝宝石基板来生长在表面周期性地形成有突出部的形态的AlN层的技术。

附图说明