[发明专利]氮化铝层叠构件以及氮化铝层

权利要求书

1.一种氮化铝层叠构件，其具备：

蓝宝石基板，其具有周期性地配置有高度为500nm以下的凸部的基底面；以及，

氮化铝层，其设置在所述基底面上，且具有在各个所述凸部的顶部上方形成有突出部的表面。

2.根据权利要求1所述的氮化铝层叠构件，其中，各个所述突出部具有俯视为六边形的外形。

3.根据权利要求2所述的氮化铝层叠构件，其中，在各个所述突出部中，所述突出部的高度大于等于所述突出部的尺寸，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定。

4.根据权利要求2所述的氮化铝层叠构件，其中，在各个所述突出部中，所述突出部的高度小于所述突出部的尺寸，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定。

5.根据权利要求2所述的氮化铝层叠构件，其中，在各个所述突出部中，所述突出部的尺寸为最邻近的所述突出部彼此的间距的1/2以下，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定。

6.根据权利要求2所述的氮化铝层叠构件，其中，在各个所述突出部中，所述突出部的尺寸大于最邻近的所述突出部彼此的间距的1/2，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的氮化铝层叠构件，其中，构成所述突出部的氮化铝的c轴方向在所述突出部彼此间平行。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的氮化铝层叠构件，其中，构成所述突出部的氮化铝的a轴方向在所述突出部彼此间平行。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的氮化铝层叠构件，其中，构成所述突出部的氮化铝的m轴方向在所述突出部彼此间平行。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的氮化铝层叠构件，其中，各个所述凸部为锤状。

11.根据权利要求10所述的氮化铝层叠构件，其中，所述凸部配置在三角格、四角格或六角格的格点上。

12.根据权利要求1所述的氮化铝层叠构件，其中，各个所述凸部为山脊状，以山脊的延伸方向彼此平行的方式配置。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的氮化铝层叠构件，其中，各个所述凸部为锤状或山脊状，且各个所述凸部的斜面在俯视下的宽度为500nm以下。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的氮化铝层叠构件，其中，最邻近的所述凸部彼此的间距为1000nm以下。

15.一种氮化铝层，其具有周期性地形成有突出部的表面，

各个所述突出部具有俯视为六边形的外形，

在各个所述突出部中，所述突出部的高度大于等于所述突出部的尺寸，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定，

在各个所述突出部中，所述突出部的尺寸为最邻近的所述突出部彼此的间距的1/2以下，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定，

在所述突出部的外侧的表面，在所述突出部的根部形成有凹陷。

16.一种氮化铝层，其具有周期性地形成有突出部的表面，

各个所述突出部具有俯视为六边形的外形，

在各个所述突出部中，所述突出部的高度小于所述突出部的尺寸，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定，

在各个所述突出部中，所述突出部的尺寸大于最邻近的所述突出部彼此的间距的1/2，所述突出部的尺寸以通过所述六边形的中心的对角线的距离来规定，

在所述突出部的中央形成有隆起部。