[发明专利]显示面板及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202010084042.3 申请日: 2020-02-10
公开(公告)号: CN111276493A 公开(公告)日: 2020-06-12
发明(设计)人: 周星宇 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;H01L27/32
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 吕姝娟
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 及其 制作方法
【说明书】:

本申请公开了一种显示面板及其制作方法,该显示面板包括:基板;设置在所述基板上的遮光金属块和透明导电块;设置在所述基板、所述遮光金属块和所述透明导电块上的缓冲层;设置在所述缓冲层上的有源层图案,所述有源层图案包括一第一导电块,所述第一导电块与所述透明导电块相对设置,所述第一导电块为半导体材料导体化形成,所述透明导电块和所述第一导电块构成电容的两极。该方案能够有效增加显示面板的透光区域,提高显示面板的透明度。

技术领域

本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种显示面板及其制作方法。

背景技术

显示面板的透过率对其整体显示性能起着极为重要的作用,透过率越高,显示面板的可显示亮度越高、透明度越好。显示面板的结构中通常包括薄膜晶体管(Thin FilmTransistor,TFT)和电容,在现有技术中,通常采用金属层和离子掺杂的半导体层形成电容的两极,但是由于金属层不透光,进而减少了显示面板的透光区域,使显示面板的透明度不高。

发明内容

本申请实施例提供一种显示面板及其制作方法,以解决显示面板的透光区域较少,透明度不高的技术问题。

本申请提供一种显示面板,包括:

基板;

设置在所述基板上的遮光金属块和透明导电块;

设置在所述基板、所述遮光金属块和所述透明导电块上的缓冲层;

设置在所述缓冲层上的有源层图案,所述有源层图案包括一第一导电块,所述第一导电块与所述透明导电块相对设置,所述第一导电块为半导体材料导体化形成,所述透明导电块和所述第一导电块构成电容的两极。

在本申请提供的显示面板中,所述透明导电块的材料是氧化铟锡、氧化铝锌或氧化铟锌。

在本申请提供的显示面板中,所述半导体材料是氧化铟镓锌、氧化铟锡锌或氧化铟镓锌锡等透明金属氧化物半导体。

在本申请提供的显示面板中,所述有源层图案还包括第二导电块、第三导电块以及连接所述第二导电块和所述第三导电块的导电沟道,所述导电沟道为半导体材料,所述第二导电块和所述第三导电块均为半导体材料导体化形成。

在本申请提供的显示面板中,所述导电沟道设置在所述遮光金属块正上方。

在本申请提供的显示面板中,所述显示面板还包括:

层叠设置在所述有源层图案上的绝缘层图案和栅极图案;

设置在所述缓冲层、所述有源层图案、所述绝缘层图案和所述栅极图案上的层间介质层,所述层间介质层具有第一过孔和第二过孔;

设置在所述层间介质层上的源极图案和漏极图案,所述源极图案通过所述第一过孔和所述第二导电块连接,所述漏极图案通过所述第二过孔和所述第三导电块连接。

在本申请提供的显示面板中,所述层间介质层还具有第三过孔,所述第三过孔贯穿所述层间介质层并延伸至所述遮光金属块;

其中,所述源极图案通过所述第三过孔与所述遮光金属块连接。

在本申请提供的显示面板中,所述有源层图案的厚度为100埃-1000埃。

在本申请提供的显示面板中,所述透明导电块的厚度为200埃-2000埃。

相应的,本申请还提供一种显示面板的制作方法,包括:

提供一基板;

在所述基板上形成遮光金属块和透明导电块;

在所述基板、所述遮光金属块和所述透明导电块上形成缓冲层;

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