[发明专利]显示面板及其制作方法在审
申请号: | 202010084042.3 | 申请日: | 2020-02-10 |
公开(公告)号: | CN111276493A | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 周星宇 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 吕姝娟 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制作方法 | ||
本申请公开了一种显示面板及其制作方法,该显示面板包括:基板;设置在所述基板上的遮光金属块和透明导电块;设置在所述基板、所述遮光金属块和所述透明导电块上的缓冲层;设置在所述缓冲层上的有源层图案,所述有源层图案包括一第一导电块,所述第一导电块与所述透明导电块相对设置,所述第一导电块为半导体材料导体化形成,所述透明导电块和所述第一导电块构成电容的两极。该方案能够有效增加显示面板的透光区域,提高显示面板的透明度。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种显示面板及其制作方法。
背景技术
显示面板的透过率对其整体显示性能起着极为重要的作用,透过率越高,显示面板的可显示亮度越高、透明度越好。显示面板的结构中通常包括薄膜晶体管(Thin FilmTransistor,TFT)和电容,在现有技术中,通常采用金属层和离子掺杂的半导体层形成电容的两极,但是由于金属层不透光,进而减少了显示面板的透光区域,使显示面板的透明度不高。
发明内容
本申请实施例提供一种显示面板及其制作方法,以解决显示面板的透光区域较少,透明度不高的技术问题。
本申请提供一种显示面板,包括:
基板;
设置在所述基板上的遮光金属块和透明导电块;
设置在所述基板、所述遮光金属块和所述透明导电块上的缓冲层;
设置在所述缓冲层上的有源层图案,所述有源层图案包括一第一导电块,所述第一导电块与所述透明导电块相对设置,所述第一导电块为半导体材料导体化形成,所述透明导电块和所述第一导电块构成电容的两极。
在本申请提供的显示面板中,所述透明导电块的材料是氧化铟锡、氧化铝锌或氧化铟锌。
在本申请提供的显示面板中,所述半导体材料是氧化铟镓锌、氧化铟锡锌或氧化铟镓锌锡等透明金属氧化物半导体。
在本申请提供的显示面板中,所述有源层图案还包括第二导电块、第三导电块以及连接所述第二导电块和所述第三导电块的导电沟道,所述导电沟道为半导体材料,所述第二导电块和所述第三导电块均为半导体材料导体化形成。
在本申请提供的显示面板中,所述导电沟道设置在所述遮光金属块正上方。
在本申请提供的显示面板中,所述显示面板还包括:
层叠设置在所述有源层图案上的绝缘层图案和栅极图案;
设置在所述缓冲层、所述有源层图案、所述绝缘层图案和所述栅极图案上的层间介质层,所述层间介质层具有第一过孔和第二过孔;
设置在所述层间介质层上的源极图案和漏极图案,所述源极图案通过所述第一过孔和所述第二导电块连接,所述漏极图案通过所述第二过孔和所述第三导电块连接。
在本申请提供的显示面板中,所述层间介质层还具有第三过孔,所述第三过孔贯穿所述层间介质层并延伸至所述遮光金属块;
其中,所述源极图案通过所述第三过孔与所述遮光金属块连接。
在本申请提供的显示面板中,所述有源层图案的厚度为100埃-1000埃。
在本申请提供的显示面板中,所述透明导电块的厚度为200埃-2000埃。
相应的,本申请还提供一种显示面板的制作方法,包括:
提供一基板;
在所述基板上形成遮光金属块和透明导电块;
在所述基板、所述遮光金属块和所述透明导电块上形成缓冲层;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的