[实用新型]用于半导体扩散工艺的扩散气体的供应装置及扩散设备

说明书

本公开涉及一种用于半导体扩散工艺的扩散气体的供应装置及扩散设备。该供应装置包括源瓶、载气管、扩散气体管、液位传感器和控制器。该源瓶容纳有呈液态的扩散物。该载气管被适配为运送载气进入该扩散物中，以形成携带有该扩散物的该扩散气体。该扩散气体管被适配为将该扩散气体运送至与该供应装置耦合的扩散炉。该液位传感器被适配为检测该源瓶中的该扩散物的液位高度。该控制器耦合至该液位传感器并且被适配为基于该液位高度调节该载气管中的载气流量或该源瓶中的该扩散物的液位高度。根据本公开的实施例，可以提升扩散后的方阻均匀性，从而使太阳能电池的整体性能更稳定。

技术领域

本公开的实施例涉及太阳能电池技术领域，更具体地涉及一种用于半导体扩散工艺的扩散气体的供应装置及扩散设备。

背景技术

太阳能电池是一种有效地吸收太阳辐射能并且利用光生伏特效应把光能转换成电能的器件。当太阳光照在太阳能电池的PN结上，形成新的空穴-电子对，在PN结电场的作用下，空穴由N区流向P区，而电子由P区流向N区，由此形成电流。

在太阳能电池的制造过程中，扩散工序是一道十分关键的工序。扩散工序决定了太阳能电池PN结的结深、表面杂质浓度等参数。在扩散工序中，载气携带扩散物进入扩散炉中。在现有的设计中，由于载气流量是恒定的，随着扩散物的消耗，导致载气所携带的扩散物减少，这会扩散均匀性变差。现有调试采用温度补偿方式，然而这种调试方式存在不稳定性，且扩散的均匀性不佳。这会直接影响电池电性能参数的正态分布，从而导致电池低效比例的增加。对于高方阻扩散工艺而言，这种不均匀性会对电池性能产生更加严重的影响。

实用新型内容

因此，本文公开的实施例提供了一种改善扩散方阻均匀性的方案，旨在至少能够克服现有技术中的太阳能电池的扩散均匀性不佳的问题。

在第一方面，本公开的实施例涉及一种用于半导体扩散工艺的扩散气体的供应装置。所述供应装置包括：源瓶，容纳有呈液态的扩散物；载气管，被适配为运送载气进入所述扩散物中，以形成携带有所述扩散物的所述扩散气体；扩散气体管，被适配为将所述扩散气体运送至与所述供应装置耦合的扩散炉；液位传感器，被适配为检测所述源瓶中的所述扩散物的液位高度；以及控制器，耦合至所述液位传感器并且被适配为基于所述液位高度调节所述载气管中的载气流量或所述源瓶中的所述扩散物的液位高度。

在一些实施例中，所述供应装置还包括：分支管，连接至所述载气管，并且被适配为运送所述载气进入所述载气管中，其中所述控制器还被适配为基于所述液位高度调节所述分支管中的载气流量。

在一些实施例中，所述供应装置还包括：流量计，设置在所述载气管和/或所述分支管上，并且被配置为感测所述载气管和/或所述分支管中的载气流量。

在一些实施例中，所述供应装置还包括：恒温槽，容纳所述源瓶和所述液位传感器并且被适配为维持所述源瓶的温度恒定。

在一些实施例中，所述恒温槽包括热电偶，所述热电偶被适配为感测所述恒温槽的温度。

在一些实施例中，所述供应装置还包括：第一阀，设置在所述载气管上，并且被适配为基于所述控制器的控制来调节所述载气管中的载气流量。

在一些实施例中，所述供应装置还包括：第二阀，设置在所述扩散气体管上，并且被适配为基于所述控制器的控制来调节所述扩散气体管中的所述扩散气体的流量。

在一些实施例中，所述供应装置还包括：压力传感器，设置在所述源瓶内，并且被适配为感测所述源瓶内的所述扩散物上方的气压。

在一些实施例中，所述扩散物包括POCl₃，并且所述载气包括N₂。

在第二方面，本公开的实施例涉及一种扩散设备，所述设备包括根据第一方面所述的供应装置。

附图说明