[实用新型]用于半导体扩散工艺的扩散气体的供应装置及扩散设备有效
| 申请号： | 201922388946.0 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN210778647U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 杨二存;赵小平;顾生刚;刘海金;高丽丽;刘海泉;郭星妙 | 申请（专利权）人： | 天津爱旭太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李辉;苏耿辉 |
| 地址： | 300400 天津市北辰区经济*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 扩散 工艺 气体 供应 装置 设备 | ||
1.一种用于半导体扩散工艺的扩散气体的供应装置，其特征在于，包括：
源瓶(20)，容纳有呈液态的扩散物；
载气管(22)，被适配为运送载气进入所述扩散物中，以形成携带有所述扩散物的所述扩散气体；
扩散气体管(24)，被适配为将所述扩散气体运送至与所述供应装置耦合的扩散炉(10)；
液位传感器(26)，被适配为检测所述源瓶(20)中的所述扩散物的液位高度；以及
控制器(30)，耦合至所述液位传感器(26)并且被适配为基于所述液位高度调节所述载气管(22)中的载气流量或所述源瓶(20)中的所述扩散物的液位高度。
2.根据权利要求1所述的供应装置，其特征在于，还包括：
分支管(28)，连接至所述载气管(22)，并且被适配为运送所述载气进入所述载气管(22)中，其中所述控制器(30)还被适配为基于所述液位高度调节所述分支管(28)中的载气流量。
3.根据权利要求2所述的供应装置，其特征在于，还包括：
流量计(27-1、27-2)，设置在所述载气管(22)和/或所述分支管(28)上，并且被配置为感测所述载气管(22)和/或所述分支管(28)中的载气流量。
4.根据权利要求1所述的供应装置，其特征在于，还包括：
恒温槽(40)，容纳所述源瓶(20)和所述液位传感器(26)并且被适配为维持所述源瓶(20)的温度恒定。
5.根据权利要求4所述的供应装置，其特征在于，
所述恒温槽(40)包括热电偶，所述热电偶被适配为感测所述恒温槽(40)的温度。
6.根据权利要求1所述的供应装置，其特征在于，还包括：
第一阀(23)，设置在所述载气管(22)上，并且被适配为基于所述控制器(30)的控制来调节所述载气管(22)中的载气流量。
7.根据权利要求1所述的供应装置，其特征在于，还包括：
第二阀(25)，设置在所述扩散气体管(24)上，并且被适配为基于所述控制器(30)的控制来调节所述扩散气体管(24)中的所述扩散气体的流量。
8.根据权利要求1所述的供应装置，其特征在于，还包括：
压力传感器，设置在所述源瓶(20)内，并且被适配为感测所述源瓶(20)内的所述扩散物上方的气压。
9.根据权利要求1所述的供应装置，其特征在于，
所述扩散物包括POCl3，并且所述载气包括N2。
10.一种扩散设备，其特征在于，所述设备包括根据权利要求1至9中的任一项所述的供应装置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
