[实用新型]一种蓝宝石长晶炉

权利要求书

1.一种蓝宝石长晶炉，其特征在于，所述长晶炉包括炉体，所述炉体上有炉盖，所述炉体内有保温结构，所述保温结构包括位于所述炉盖下方的保温层，所述保温层下方有用作蓝宝石晶锭生长容器的坩埚，所述坩埚具有坩埚盖，所述炉盖、保温层和坩埚盖均有籽晶杆插入口；用于夹持籽晶的籽晶杆，所述籽晶杆的一端能穿过所述炉盖、保温层和坩埚盖的籽晶杆插入口伸入到所述坩埚内；以及保护气体入气管道，所述入气管道位于所述炉盖上且端部有出气口，所述出气口位于所述炉盖下表面并包围所述炉盖的籽晶杆插入口，或者所述入气管道与所述籽晶杆同轴，所述入气管道侧壁和/或所述入气管道端部有出气口，且当所述籽晶杆插入坩埚内长晶时，所述出气口位于所述炉盖和所述坩埚盖之间围绕着所述籽晶杆；通过所述入气管道可实现保护气体通入所述长晶炉后在所述炉盖与坩埚盖之间形成杂质排斥区，所述杂质排斥区包围所述籽晶杆和所述坩埚盖的籽晶杆插入口。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石长晶炉，其特征在于，当所述入气管道位于所述炉盖上且其端部的出气口位于所述炉盖下表面并包围所述炉盖的籽晶杆插入口时，所述出气口包括一个环状的出气口或多个出气口，所述多个出气口形成环状包围所述炉盖的籽晶杆插入口。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石长晶炉，其特征在于，当所述入气管道与所述籽晶杆同轴时，所述入气管道侧壁和/或所述入气管道端部的出气口包括多个，所述多个出气口围绕所述籽晶杆。

4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石长晶炉，其特征在于，所述保护气体入气管道上还连接有流量控制器。

5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石长晶炉，其特征在于，所述长晶炉还包括在所述炉体侧壁上设置的抽气口，且配合所述抽气口安装有压力控制器。

6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石长晶炉，其特征在于，所述保护气体入气管道与外界气体管路相连，所述外界气体管路上设置有三通球阀。

7.根据权利要求1所述的一种蓝宝石长晶炉，其特征在于，所述保温层包括上保温层和中保温层，所述中保温层设置于所述坩埚盖上方，所述上保温层设置在所述中保温层上方。

8.根据权利要求1所述的一种蓝宝石长晶炉，其特征在于，所述的保温结构还包括侧部保温氧化锆砖以及保温钼桶，所述氧化锆砖及所述保温钼桶均设置在所述坩埚周围。

9.根据权利要求1所述的一种蓝宝石长晶炉，其特征在于，所述蓝宝石长晶炉为泡生法长晶炉。