[实用新型]一种半导体芯片加工用固定机构

权利要求书

1.一种半导体芯片加工用固定机构，包括固定底板（1），固定底板（1）上端两侧设有燕尾槽（2），燕尾槽（2）内部通过梯形块（11）安装活塞柱（3），其特征在于，活塞柱（3）上端安装活塞板（15），活塞板（15）外侧安装活塞筒（12），活塞筒（12）上端安装U型架（4），U型架（4）上端安装吸盘（5），吸盘（5）与活塞板（15）下端的活塞筒（12）区域之间安装通气管（16），所述活塞板（15）上端与活塞筒（12）顶端内壁之间安装复位弹簧（13），所述U型架（4）内侧分别安装有左旋螺杆（8）和右旋螺杆（9），左旋螺杆（8）和右旋螺杆（9）之间安装螺纹筒（10），所述U型架（4）外侧中部安装L型架（6）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工用固定机构，其特征在于，所述复位弹簧（13）上端通过弹簧座（14）固定于活塞筒（12）内部顶端。

3.根据权利要求1或2所述的一种半导体芯片加工用固定机构，其特征在于，所述L型架（6）顶端之间安装缓冲垫（7）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体芯片加工用固定机构，其特征在于，所述活塞板（15）与活塞柱（3）为一体结构。

5.根据权利要求4所述的一种半导体芯片加工用固定机构，其特征在于，所述螺纹筒（10）内部设有与左旋螺杆（8）和右旋螺杆（9）相互配合的内螺纹孔。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工用固定机构，其特征在于，所述通气管（16）设于U型架（4）内部。