[实用新型]一种卷对卷化学水浴沉积系统及其除膜装置

权利要求书

1.一种卷对卷化学水浴沉积系统的除膜装置，用于光伏基底的除膜；其特征在于，包括：辊轴、驱动件及支架组件；所述辊轴的一端与所述驱动件传动连接，所述辊轴的另一端通过所述支架组件支撑；所述辊轴用于收卷所述光伏基底上的保护膜。

2.根据权利要求1所述的一种卷对卷化学水浴沉积系统的除膜装置，其特征在于，所述支架组件包括：支座、升降机构及导轨，所述支座的一端与所述导轨滑动连接，所述支座的另一端用于支撑所述辊轴；所述支座与所述升降机构传动连接，且所述升降机构带动所述支座升降。

3.一种卷对卷化学水浴沉积系统，其特征在于，包括放卷装置、沉积装置、收卷装置及权利要求1-2任一项所述的卷对卷化学水浴沉积系统的除膜装置；

所述放卷装置、所述沉积装置及所述收卷装置依次传动连接，所述放卷装置与所述除膜装置传动连接；由所述放卷装置释放的所述光伏基底依次经过所述沉积装置，并收卷于所述收卷装置；且所述光伏基底上的保护膜收卷于所述除膜装置的所述辊轴上。

4.根据权利要求3所述的一种卷对卷化学水浴沉积系统，其特征在于，所述光伏基底的传输速度为0.5m/Min至5m/Min。

5.根据权利要求4所述的一种卷对卷化学水浴沉积系统，其特征在于，所述除膜装置的运行速度与所述光伏基底的传输速度相同。

6.根据权利要求3所述的卷对卷化学水浴沉积系统，其特征在于，所述沉积装置包括通依次相连通的主反应区、清洗区及烘干区。

7.根据权利要求6所述的卷对卷化学水浴沉积系统，其特征在于，所述主反应区包括水浴反应室，所述水浴反应室内设置有若干传输辊，所述放卷装置通过所述传输辊与所述收卷装置传动连接。