[实用新型]一种半导体封装设备用零件偏移碰撞报警机构有效
申请号: | 201920456775.8 | 申请日: | 2019-04-07 |
公开(公告)号: | CN209675250U | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 奚衍东 | 申请(专利权)人: | 翼龙设备(大连)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116600 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 偏移 外侧壁 支架 传感器装置 传感器片 本实用新型 侧传感器 活动环 套筒 半导体封装设备 第二传感器装置 第一传感器装置 外界控制器 右侧传感器 左侧传感器 报警机构 工作效率 偏移碰撞 停止设备 上侧壁 复位 拉簧 底座 警报 检测 | ||
1.一种半导体封装设备用零件偏移碰撞报警机构,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)的上侧壁后侧固定安装有固定环(2),所述固定环(2)的内侧壁均匀固定安装有拉簧(3)的一端,所述拉簧(3)的另一端固定安装有活动环(4),所述活动环(4)的内侧壁固定安装有套筒(5),所述固定环(2)的外侧壁前侧开设有通槽(6),所述活动环(4)的上侧壁前侧固定安装有传感器片(7),且传感器片(7)贯穿通槽(6),所述底座(1)的上侧壁右侧、左侧、右前侧和左前侧均固定安装有传感器支架(8),右侧所述传感器支架(8)的外侧壁固定安装有第一传感器装置(9),左侧所述传感器支架(8)的外侧壁固定安装有第二传感器装置(10),右前侧所述传感器支架(8)的外侧壁固定安装有第三传感器装置(11),左前侧所述传感器支架(8)的外侧壁固定安装有第四传感器装置(12),且传感器片(7)的前端分别位于第一传感器装置(9)、第二传感器装置(10)、第三传感器装置(11)和第四传感器装置(12)内。
2.根据权利要求1所述的一种半导体封装设备用零件偏移碰撞报警机构,其特征在于:所述第一传感器装置(9)与第二传感器装置(10)、第三传感器装置(11)和第四传感器装置(12)的内部结构相同,所述第一传感器装置(9)包括固定块(91),且固定块(91)固定安装于传感器支架(8)的外侧壁,所述固定块(91)的左侧壁开设有第一矩形槽(92),且传感器片(7)的前端右侧位于第一矩形槽(92)内,所述第一矩形槽(92)的内腔下侧壁开设有第二矩形槽(93),所述第二矩形槽(93)的内侧壁固定安装有测力传感器(94),且测力传感器(94)通过导线连接到外界控制器,所述第二矩形槽(93)的内侧壁插接有感应杆(95),且感应杆(95)的左侧壁贴合于测力传感器(94)的右侧壁,所述固定块(91)的右侧壁固定安装有连接线(96),所述连接线(96)的一端连接于测力传感器(94),且连接线(96)的另一端连接于外接电源。
3.根据权利要求1所述的一种半导体封装设备用零件偏移碰撞报警机构,其特征在于:所述传感器片(7)的前侧壁右侧开设有凹槽(13),且凹槽(13)的内侧壁贴合于第三传感器装置(11)的感应杆(95)的外侧壁,所述传感器片(7)的上侧壁的右侧、左侧和左前侧均开设有矩形孔(14),且第一传感器装置(9)、第二传感器装置(10)和第四传感器装置(12)的感应杆(95)分别插接于三个所述矩形孔(14)内。
4.根据权利要求1所述的一种半导体封装设备用零件偏移碰撞报警机构,其特征在于:所述固定环(2)的上侧壁固定安装有挡板(15)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造