[发明专利]气体传感器以及传感器装置有效
申请号: | 201580077528.1 | 申请日: | 2015-03-10 |
公开(公告)号: | CN107430086B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 百濑悟;壶井修;柄泽一明 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | G01N27/416 | 分类号: | G01N27/416 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;李洋 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 气体传感器具备:p型半导体层(1),其包含铜或者银,且与检测对象气体接触;第一电极(2),其相对于p型半导体层成为肖特基电极;高电阻层(3),其在p型半导体层与第一电极之间以p型半导体层和第一电极部分接触的方式设置,且具有比p型半导体层以及第一电极高的电阻;以及第二电极(4),其相对于p型半导体层成为欧姆电极。 | ||
搜索关键词: | 气体 传感器 以及 装置 | ||
【主权项】:
一种气体传感器,其特征在于,具备:p型半导体层,其包含铜或者银,且与检测对象气体接触;第一电极,其相对于上述p型半导体层成为肖特基电极;高电阻层,其在上述p型半导体层与上述第一电极之间以上述p型半导体层和上述第一电极部分接触的方式设置,且具有比上述p型半导体层以及上述第一电极高的电阻;以及第二电极,其相对于上述p型半导体层成为欧姆电极。
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