[实用新型]一种可吹扫的黑硅制绒装置

权利要求书

1.一种可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：包括机械臂(1)、预脱水槽槽体(2)和晶片篮(3)，所述预脱水槽槽体(2)的顶部设置有开口，所述预脱水槽槽体(2)内盛有纯水液(5)，位于纯水液(5)液面以上的预脱水槽槽体(2)侧壁上安装有气体通孔(8)，气流(10)自预脱水槽槽体(2)外穿过若干个气体通孔(8)吹向预脱水槽槽体(2)内部，所述机械臂(1)的下段连接有晶片篮(3)，所述晶片篮(3)内放置若干块硅片(4)，所述机械臂(1)带动晶片篮(3)上下运动。

2.根据权利要求1所述的可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：所述预脱水槽槽体(2)的侧壁上设置有若干个气体吹扫盖板安装口(6)，每个气体吹扫盖板安装口(6)上均安装有气体吹扫盖板(7)，每个气体吹扫盖板(7)上设置有若干个气体通孔(8)。

3.根据权利要求2所述的可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：所述气体吹扫盖板安装口(6)位于纯水液(5)液面以上0.5-3cm处的预脱水槽槽体(2)侧壁上。

4.根据权利要求2所述的可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：所述气体吹扫盖板(7)上的气体通孔(8)分为3种，分别是水平通孔、斜向上通孔和斜向下通孔，其中：水平通孔的孔内壁与纯水液(5)液面平行，气体经过水平通孔，水平吹入预脱水槽槽体(2)内部，斜向上通孔的孔内壁相较于纯水液(5)液面倾斜向上，气体经过斜向上通孔，向上吹入预脱水槽槽体(2)内部，斜向下通孔的孔内壁相较于纯水液(5)液面倾斜向下，气体经过斜向下通孔，向下吹入预脱水槽槽体(2)内部。

5.根据权利要求4所述的可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：所述气体吹扫盖板(7)上自上而下依次设置斜向上通孔、水平通孔和斜向下通孔，斜向上通孔为若干个，呈阵列式排布，所述水平通孔为若干个，呈阵列式排布，所述斜向下通孔为若干个，呈阵列式排布。

6.根据权利要求4所述的可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：所述斜向上通孔的延长线与水平通孔的延长线呈15-45°夹角，所述斜向下通孔的延长线与水平通孔的延长线呈15-45°夹角。

7.根据权利要求1所述的可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：所述机械臂(1)包括4根机械杆(11)，4根机械杆(11)两两为一组，每组机械杆(11)分别与晶片篮(3)相对的两个侧壁连接。

8.根据权利要求2所述的可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：所述气体吹扫盖板(7)上位于预脱水槽槽体(2)侧壁外侧的一端连接有气体吹扫盖檐(12)，气体吹扫盖板(7)置于气体吹扫盖板安装口(6)内，气体吹扫盖檐(12)的内侧贴于预脱水槽槽体(2)侧壁外侧。

9.根据权利要求8所述的可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：所述气体吹扫盖板安装口(6)与气体吹扫盖板(7)过盈配合。

10.根据权利要求2所述的可吹扫的黑硅制绒装置，其特征在于：所述预脱水槽槽体(2)外，位于气体吹扫盖板(7)的外侧，设置有吹风装置，吹风装置吹动气体穿过若干个气体通孔(8)吹向预脱水槽槽体(2)内的硅片(4)。