[实用新型]一种石墨舟卡点

说明书

本实用新型提出了一种石墨舟卡点，包括长方体固定部，所述长方体固定部的两侧居中对称设置有长圆形卡块。在本实用新型中，将传统用于固定硅片的圆形点接触卡点部件调整为线接触的长条形卡点部件，不仅增加了卡点固定硅片的接触面积，能够有效降低硅片在炉管高温下受热产生弧形形变，使得氮化硅在硅片表面沉积更加均匀，各点颜色一致；还增加了卡点导电的接触面积，能够有效减少接触电阻，使得氮化硅沉积更加均匀。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟卡点及石墨舟叶片。

背景技术

目前，现有的太阳能电池片生产PECVD当中使用的是石墨舟圆形卡点，用于固定石墨舟叶片当中的硅片，以便在辉光放电反应时电流在硅片和石墨舟叶片间有良好的通路，使氮化硅沉积在硅片的表面，形成80～85nm厚的氮化硅膜。

现有石墨舟叶片及卡点设计如图1至图3所示，主要缺陷为：1)由三个圆形卡点将硅片卡在石墨舟叶片上，卡点与硅片接触面积小，导电性差，会导致射频不均匀(例如有一个卡点位置没放好，会导致这点位置周围出现色差)，严重的会导致射频报警出炉，影响合格率和产量。2)因为在石墨舟叶片上只有三点接触，硅片翘曲难以避免，严重翘曲时会脱出卡点造成色差，轻微的也会导致颜色不均匀，这种情况下需清洗石墨舟或更换卡点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨舟卡点及石墨舟叶片，采用线性接触改变为原来的点接触结构，使得卡点具备基础面均匀、减少硅片变形的功能，有利于提高产品合格率、成品颜色均匀一致和降低成本。

为实现上述目的，本实用新型提出的石墨舟卡点，包括长方体固定部，所述长方体固定部的两侧居中对称设置有长圆形卡块。

优选地，在所述的石墨舟卡点中，所述长方体固定部与长圆形卡块的长度相同，且长圆形卡块的宽度小于长方体固定部的宽度。

优选地，在所述的石墨舟卡点中，所述长方体固定部朝向长圆形卡块的两个端面四边设有倒角。

优选地，在所述的石墨舟卡点中，所述长圆形卡块远离长方体固定部的一侧边缘设有倒角，靠近长方体固定部的一侧为卡接部，卡接部的厚度不大于长圆形卡块厚度的一半。

优选地，在所述的石墨舟卡点中，所述卡接部靠近长方体固定部的一侧设有40°～60°的倒角。

优选地，在所述的石墨舟卡点中，所述卡接部靠近长方体固定部的一侧设有50°的倒角。

优选地，在所述的石墨舟卡点中，所述长圆形卡块与长方体固定部之间设有连接部，所述连接部的截面为长圆形或长方形。

优选地，在所述的石墨舟卡点中，所述长方体固定部的长度为40mm，宽度为9mm，厚度为2.5mm；长圆形卡块的长度为40mm，宽度为7mm，厚度为0.5mm；连接部的长度为35mm，宽度为6mm，厚度为0.3mm；卡接部的厚度为0.2mm。

具有上述石墨舟卡点的石墨舟叶片上设有长方形卡槽，卡点的长方体固定部卡接在所述长方形卡槽中。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：将传统用于固定硅片的圆形点接触卡点部件调整为线接触的长条形卡点部件，不仅增加了卡点固定硅片的接触面积，能够有效降低硅片在炉管高温下受热产生弧形形变，使得氮化硅在硅片表面沉积更加均匀，各点颜色一致；还增加了卡点导电的接触面积，能够有效减少接触电阻，使得氮化硅沉积更加均匀。

附图说明

图1为现有技术中石墨舟卡点固定硅片的结构图；

图2为现有技术中石墨舟卡点的主视图；

图3为图2的俯视图；

图4为本实用新型中石墨舟卡点的侧视图；

图5为本实用新型中石墨舟卡点的正视图；