[实用新型]一种石墨舟卡点有效

专利信息
申请号: 201920091156.3 申请日: 2019-01-21
公开(公告)号: CN209778990U 公开(公告)日: 2019-12-13
发明(设计)人: 樊选东 申请(专利权)人: 中建材浚鑫科技有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458
代理公司: 31280 上海申浩律师事务所 代理人: 吕琳琳
地址: 214400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 卡点 本实用新型 固定硅片 固定部 氮化硅沉积 部件调整 对称设置 硅片表面 接触电阻 颜色一致 有效减少 受热 长条形 长圆形 氮化硅 点接触 石墨舟 线接触 形变 导电 硅片 沉积 卡块 炉管
【权利要求书】:

1.一种石墨舟卡点,其特征在于,包括长方体固定部(1),所述长方体固定部(1)的两侧居中对称设置有长圆形卡块(2);所述长方体固定部(1)与长圆形卡块(2)的长度相同,且长圆形卡块(2)的宽度小于长方体固定部(1)的宽度;所述长方体固定部(1)朝向长圆形卡块(2)的两个端面四边设有倒角;所述长圆形卡块(2)远离长方体固定部(1)的一侧边缘设有倒角,靠近长方体固定部(1)的一侧为卡接部(4),卡接部(4)的厚度不大于长圆形卡块(2)厚度的一半。

2.根据权利要求1所述的石墨舟卡点,其特征在于,所述卡接部(4)靠近长方体固定部(1)的一侧设有40°~60°的倒角。

3.根据权利要求2所述的石墨舟卡点,其特征在于,所述卡接部(4)靠近长方体固定部(1)的一侧设有50°的倒角。

4.根据权利要求1至3任一项所述的石墨舟卡点,其特征在于,所述长圆形卡块(2)与长方体固定部(1)之间设有连接部(3),所述连接部(3)的截面为长圆形或长方形。

5.根据权利要求4所述的石墨舟卡点,其特征在于,所述长方体固定部(1)的长度为40mm,宽度为9mm,厚度为2.5mm;长圆形卡块(2)的长度为40mm,宽度为7mm,厚度为0.5mm;连接部(3)的长度为35mm,宽度为6mm,厚度为0.3mm;卡接部(4)的厚度为0.2mm。

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