[发明专利]电子零件的拾取装置以及安装装置有效
申请号: | 201911028600.8 | 申请日: | 2019-10-28 |
公开(公告)号: | CN111106037B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 小西宜明;志贺康一 | 申请(专利权)人: | 芝浦机械电子装置株式会社 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马爽;臧建明 |
地址: | 日本神奈川县横浜市荣区笠间二*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子零件 拾取 装置 以及 安装 | ||
1.一种电子零件的拾取装置,其特征在于,包括:
拾取部,拾取贴附于粘着片的电子零件;以及
支承部,与所述粘着片的和所述电子零件为相反侧的一面相向地设置,
所述支承部包括:
吸附面,吸附保持所述粘着片的与供拾取的所述电子零件对应的区域;
挤压部,与共同的轴呈同轴的嵌套状地配设有多个挤压体,所述多个挤压体设置成在所述吸附面内沿着所述共同的轴而能够移动,且外形的大小不同;
驱动机构,进行挤压动作及远离动作,所述挤压动作使所述挤压部移动而利用所有挤压体挤压所述粘着片,所述远离动作从任一挤压体起使邻接的挤压体依次向使所述电子零件从所述粘着片剥离的远离方向移动;以及
转换机构,设于所述驱动机构,将沿着所述共同的轴移动的单一的驱动构件的动作转换为所述多个挤压体的远离动作。
2.根据权利要求1所述的电子零件的拾取装置,其特征在于,所述转换机构包括:
至少一对伸出部,从各挤压体的相反的侧面向外伸出;
施力构件,对各挤压体的伸出部向所述远离方向个别地施力;以及
第1凸轮机构,由所述驱动构件所驱动,从任一挤压体起向邻接的挤压体依次允许各挤压体向所述远离方向移动。
3.根据权利要求2所述的电子零件的拾取装置,其特征在于,所述第1凸轮机构包括:
凸轮面,设于各挤压体的和挤压于所述粘着片的挤压面为相反侧的一面,沿着与所述共同的轴交叉的方向而在每个所述挤压体中形状不同;以及
滚轮轴,与各挤压体的凸轮面接触,对各挤压体向抵抗所述施力构件的方向施力,并且在与所述远离方向交叉的方向移动。
4.根据权利要求3所述的电子零件的拾取装置,其特征在于,所述滚轮轴的移动范围为所述吸附面的外缘的范围内。
5.根据权利要求3或4所述的电子零件的拾取装置,其特征在于,根据所述凸轮面的形状,施力构件对所述一对伸出部中的一者与另一者的施加力不同。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的电子零件的拾取装置,其特征在于,将最外侧的所述挤压体的一对所述伸出部设于最外侧,随着成为内侧的所述挤压体而依次在内侧设有所述伸出部。
7.根据权利要求3至5中任一项所述的电子零件的拾取装置,其特征在于,所述转换机构包括:
第2凸轮机构,将所述驱动构件的沿着所述共同的轴的方向上的移动转换为所述滚轮轴的与所述远离方向交叉的方向上的移动。
8.根据权利要求7所述的电子零件的拾取装置,其特征在于,所述第2凸轮机构包括:
滚轮及与所述滚轮接触的倾斜面,且
所述第2凸轮机构为直动凸轮,将所述滚轮及所述倾斜面中的任一者设为沿着所述共同的轴移动的主动凸轮,将另一者设为在与所述共同的轴交叉的方向移动的从动凸轮。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的电子零件的拾取装置,其特征在于,所述挤压部包括五个以上的挤压体,
最外侧的挤压体形成为挤压面的大小与供拾取的所述电子零件的贴附于所述粘着片的面的大小相同或略小,
最内侧的挤压体形成为挤压面的面积成为供拾取的所述电子零件的贴附于所述粘着片的面的面积的30%以下的大小。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造