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- [发明专利]胶带的贴合装置-CN202110779597.4有效
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菊池一哉
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芝浦机械电子装置株式会社
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2019-03-27
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2023-10-20
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B65H37/04
- 本发明提供一种胶带的贴合装置,能自动进行胶带的出头。胶带的贴合装置包括:供应部(12),供应在离型带(22)上贴合有胶带(21)的带状构件(2);贴合部(11),对贴合对象物贴合胶带(21)的与离型带(22)为相反侧的贴合面;搬送部(14),将带状构件(2)从供应部(12)进给至贴合部(11);摄像部(18),将光轴对准对贴合部(11)所设定的贴合基准位置(10),配置于带状构件(2)的胶带侧,拍摄位于贴合基准位置(10)的带状构件(2);及判定部(196),基于由摄像部(18)所得的带状构件(2)的图像,判定从设置于供应部(12)的新的供应卷盘(120)抽出的胶带(21)的开头部分的位置良好与否。
- 胶带贴合装置
- [发明专利]基板处理装置-CN202310314406.6在审
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金井隆宏;土持鹰彬
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芝浦机械电子装置株式会社
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2023-03-28
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2023-10-17
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H01L21/67
- 本发明提供一种基板处理装置,抑制在基板的处理中在处理液保持部与基板之间产生的热气和新搬入至处理室的基板的表面接触。本发明具有:保持部,对搬入至处理室的基板进行保持;旋转体,使基板旋转;供给机构,向基板的表面供给处理液,并对供给至基板的表面的处理液供给冲洗液;处理液保持部,与由保持部保持的基板的表面相向地设置,且直径比基板大;升降机构,使处理液保持部在接近形成于基板的表面的处理液的液膜的处理位置与从基板的表面离开的退避位置之间升降;加热部,对供给至由保持部保持的基板的表面的处理液进行加热;以及去除部,从经加热的处理液与对经加热的处理液供给的冲洗液中将在处理液保持部与基板之间产生的热气去除。
- 处理装置
- [发明专利]安装装置及安装方法-CN202310305225.7在审
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桥本正规
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芝浦机械电子装置株式会社
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2023-03-27
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2023-10-17
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H05K13/08
- 本发明提供一种安装装置及安装方法,可降低因接合头及拍摄部的移动而产生的误差。实施方式的安装装置具有:第一位置关系算出部,基于对保持于接合头的电子零件以及头部标记进行拍摄而得的第一图像,算出头部标记与电子零件的第一位置关系;第二位置关系算出部,基于在安装位置对基板标记进行拍摄而得的第二图像、以及在接合头所保持的电子零件与安装区域相向的状态下对头部标记进行拍摄而得的第三图像来算出头部标记与基板标记的第二位置关系;第三位置关系算出部,基于第一位置关系及第二位置关系而算出电子零件与基板标记的第三位置关系;以及定位机构,基于第三位置关系来定位电子零件与基板标记。
- 安装装置方法
- [发明专利]基板处理装置-CN202310321698.6在审
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菊池一哉
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芝浦机械电子装置株式会社
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2023-03-29
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2023-10-17
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H01L21/60
- 本发明提供一种基板处理装置,其可在维护时确保操作员的安全,并且抑制装置整体的大型化,进而提高生产性。本发明的装置包括:多个载台(10A、10B),相邻地设置,且分别保持基板(W);单元(20B、20C),分别与载台(10A、10B)相向地设置,相对于基板(W)移动,且对基板(W)的端子(P)进行处理;以及第一遮蔽板(30),追随于与载台(10A(10B))相向地设置的单元(20B(20C))而移动,对与相邻的载台(10B(10A))相向地设置的单元(20C(20B))进行遮蔽。
- 处理装置
- [发明专利]电子零件的安装装置及安装方法-CN202310271819.0在审
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山田泰弘
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芝浦机械电子装置株式会社
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2023-03-20
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2023-09-26
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H01L21/67
- 本发明提供一种电子零件的安装装置及安装方法,通过安装工具自载置部精度良好地一并接收多个电子零件,而能够实现高位置精度的安装并且能够提高吞吐量。实施方式的电子零件的安装装置具有:多个载置部;载置部移动机构,使多个载置部的任意一者或全部移动;拍摄部,对各个载置于多个载置部的电子零件进行拍摄,识别各个电子零件的水平方向的姿势;多个安装工具,对载置于多个载置部的电子零件各个进行保持,并将其安装到基板;安装工具移动机构,使多个安装工具一并移动;定位处理部,基于拍摄部的识别结果,将载置于各个载置部的电子零件相对于各个安装工具进行定位;以及接收处理部,使多个所述安装工具执行电子零件的一并接收处理。
- 电子零件安装装置方法
- [发明专利]安装装置以及安装方法-CN202310222970.5在审
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大河原聡史;羽根洋祐
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芝浦机械电子装置株式会社
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2023-03-09
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2023-09-19
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H05K13/04
- 本发明提供一种能够减小每个电子零件的接合强度的差异的安装装置以及安装方法。实施方式的安装装置(1)包括:搭载装置(30),通过将电子零件(2)的安装面(2a)与基板(3)的安装面(3a)贴合,将电子零件(2)搭载于基板(3);以及气体供给装置(60),具有在将电子零件(2)搭载于基板(3)之前,能够插入至相向配置的电子零件(2)的安装面(2a)与基板(3)的安装面(3a)之间的喷附部(610),从喷附部(610)分别朝向电子零件(2)的安装面(2a)及基板(3)的安装面(3a)而沿与各安装面(2a)、(3a)垂直的方向喷附包含由等离子体所生成的活性种的气体。
- 安装装置以及方法
- [发明专利]基板处理装置-CN202310220683.0在审
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滨田祟広
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芝浦机械电子装置株式会社
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2023-03-09
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2023-09-19
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H01L21/67
- 本发明提供一种能够抑制基板的处理线变得庞大的基板处理装置。基板处理装置具有:搬送装置(20),可沿着搬送路径而朝一方向以及与其逆行的反方向这两方向来搬送基板;以及水刀(40),在基板的搬送路径的上方,长边方向沿着相对于所述搬送路径在水平面内交叉的方向设置,从狭缝状的开口朝向搬送路径喷出处理液。水刀(40)包括:存储部(41),在搬送路径侧具有开口,可存储处理液;喷出方向引导板(42),以一端从所述开口突出且另一端进入存储部的内部的方式而设,引导处理液的喷出方向;以及喷出方向变更部,使喷出方向引导板旋转,以变更处理液的喷出方向。
- 处理装置
- [发明专利]基板处理装置-CN202310186235.3在审
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长嶋裕次
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芝浦机械电子装置株式会社
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2023-03-01
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2023-09-12
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H01L21/67
- 本发明提供一种在单片式处理装置中使废液效率良好地发热而可效率良好地获取电力的基板处理装置。实施方式的基板处理装置(1)具有:处理装置(10),利用处理液(L)逐片对基板(W)进行处理;废液流路(20),供对基板(W)进行了处理的处理液(L)的废液(Lw)流通;稀释液供给部(30),向废液(Lw)供给稀释液(D);发热部(40),设置于废液流路(20)的多个部位,利用从稀释液供给部(30)供给的稀释液(D)使废液(Lw)发热;以及发电部(50),利用发热部(40)产生的热进行发电。
- 处理装置
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