[发明专利]一种PERC电池的加工方法

权利要求书

1.一种PERC电池的加工方法，其特征在于，包括背蚀刻工艺，背蚀刻工艺包括以下步骤：

S1：预处理，通过采用KOH和H₂O₂预清洗去除硅片表面脏污；

S2：漂洗，采用纯水对硅片进行漂洗；

S3：碱背抛，采用强碱和碱背抛添加剂，碱背抛添加剂能够进一步抑制KOH和正面PSG反应，加速KOH与背面硅进行刻蚀；

S4：后清洗，清洗添加剂残留；

S5：酸洗，采用HF和HCL的混合溶液进行清洗；

S6：漂洗，采用纯水对硅片进行漂洗；

S7：慢提拉，慢提拉水温设置为60～90度；

S8：烘干，对硅片进行烘干。

2.根据权利要求1所述的PERC电池的加工方法，其特征在于，在进行背蚀刻工艺之前，先进行链式氧化工艺，链式氧化工艺包括以下步骤：

S10：上料，激光SE后硅片正面朝上；

S20：热氧化，硅片氧化，氧化腔体温度范围为500～900度，氧气通入流量为0.1~20slm，氮气通入流量为0.1-20slm；

S30：喷水膜，氧化完成后表面喷射水膜；

S40：酸洗，在酸槽中采用浓度为2～20%HF酸清洗，清洗掉背面和四周的磷硅玻璃psg从而后续可通过槽式机对背面进行碱刻蚀；

S50：漂洗，在水槽中进行漂洗；

S60：烘干，将硅片表面水吹干；

S70：下料，通过下料机构使硅片下料。

3.根据权利要求1所述的PERC电池的加工方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述KOH和H₂O₂ 浓度范围为5～30%，温度为50～75度。

4.根据权利要求1所述的PERC电池的加工方法，其特征在于，步骤S3中，所述强碱为碱浓度为5～30%的KOH或者NaOH。

5.根据权利要求1所述的PERC电池的加工方法，其特征在于，步骤S4中，通过采用KOH和H₂O₂进行清洗。

6.根据权利要求1所述的PERC电池的加工方法，其特征在于，步骤S5中，HF和HCL的浓度为10～50%。

7.根据权利要求1所述的PERC电池的加工方法，其特征在于，步骤S8中，烘干温度为80～95度，通过鼓风机和高效过滤器持续鼓风同时通入1～20slm氮气。

8.根据权利要求2所述的PERC电池的加工方法，其特征在于，在步骤S30中，喷水膜是在硅片表面喷射一定量的纯水，在表面张力作用下纯水均匀分布在硅片表面进行保护。

9.根据权利要求2所述的PERC电池的加工方法，其特征在于，在步骤S20中，氧化腔体长度为20～1000cm。

10.根据权利要求1-9中任一权利要求所述的PERC电池的加工方法，其特征在于，步骤S1工艺时间为1-3min，步骤S2工艺时间为1-3min，步骤S1工艺时间为3-6min，步骤S4工艺时间为1-3min，步骤S5工艺时间为1-3min，步骤S6工艺时间为1-3min，步骤S7工艺时间为1-3min；步骤S8工艺时间为6-8min。