[发明专利]一种抗瞬时辐射加固的集成电路版图结构有效
| 申请号: | 201910865159.2 | 申请日: | 2019-09-12 |
| 公开(公告)号: | CN110676252B | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
| 发明(设计)人: | 王亮;赵元富;李同德;曹炜亦;隋成龙;李建成;郭威 | 申请(专利权)人: | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
| 主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L27/092 |
| 代理公司: | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人: | 庞静 |
| 地址: | 100076 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 瞬时 辐射 加固 集成电路 版图 结构 | ||
1.一种抗瞬时辐射加固的集成电路版图结构,其特征在于:包括P阱,N阱,NMOS器件,PMOS器件,第一P阱接触,第二P阱接触,第一N阱接触,第二N阱接触;其中,NMOS器件、第一P阱接触和第二P阱接触位于P阱中,PMOS器件、第一N阱接触和第二N阱接触位于N阱中;第一P阱接触在NMOS器件源端一侧,第二P阱接触在NMOS器件漏端一侧,第一P阱接触和第二P阱接触的面积之和不小于所在P阱面积的15%,第一N阱接触在PMOS器件源端一侧,第二N阱接触在PMOS器件漏端一侧,第一N阱接触和第二N阱接触的面积之和不小于所在N阱面积的15%;上述面积是指区域的平面版图面积。
2.根据权利要求1所述的结构,其特征在于:NMOS器件的源端如果在集成电路中接最低电位,第一P阱接触与该NMOS源端直接接触。
3.根据权利要求1所述的结构,其特征在于:PMOS器件的源端如果在集成电路中接最高电位,第一N阱接触与该PMOS源端直接接触。
4.根据权利要求1所述的结构,其特征在于:NMOS器件的源端如果在集成电路中接最低电位,第一P阱接触与该NMOS源端直接接触,且接触面采用相互交错形式。
5.根据权利要求4所述的结构,其特征在于:所述的相互交错形式为第一P阱接触插入NMOS器件的源端且不超过源端边界。
6.根据权利要求4或5所述的结构,其特征在于:所述的相互交错截面形式为矩形,或工艺制造允许的其它形状。
7.根据权利要求1所述的结构,其特征在于:PMOS器件的源端如果在集成电路中接最高电位,那么第一N阱接触与该PMOS源端直接接触,且接触面采用相互交错形式。
8.根据权利要求7所述的结构,其特征在于:所述的相互交错形式为第一N阱接触插入PMOS器件的源端且不超过源端边界。
9.根据权利要求7所述的结构,其特征在于:所述的相互交错截面形式为矩形,或工艺制造允许的其它形状。
10.根据权利要求1所述的结构,其特征在于:所述的第一P阱接触,第二P阱接触,第一N阱接触,第二N阱接触的版图形状为矩形,或者环绕相邻源端或漏端的半封闭形状,所述的半封闭形状的开口朝向栅端。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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