[发明专利]一种防止手臂撞击晶圆的装置

权利要求书

1.一种防止手臂撞击晶圆的装置，包括：

手臂基座；

侦测器位置调整单元，所述侦测器位置调整单元刚性设置在所述手臂基座上；

侦测器宽度调整单元，所述侦测器宽度调整单元与所述侦测器位置调整单元的可动结构刚性相连；以及

晶圆侦测器，所述晶圆侦测器可调节的设置在所述侦测器宽度调整单元上；

控制模块，包括：信号接收单元；主控制器，所述主控制器接收来自信号接收单元的指令，并向机械控制器和PLC单元下发控制指令；机械控制器，所述机械控制器基于来自所述主控制器的控制指令控制马达动作；PLC单元；及电磁阀，所述电磁阀用于控制所述侦测器位置调整单元动作，所述PLC单元基于来自所述主控制器的控制指令控制所述电磁阀开启或关闭，

其中所述防止手臂撞击晶圆的装置进行预侦测时，所述主控制器接收来自所述信号接收单元的指令，并向所述PLC单元提供控制指令，所述PLC单元基于所述主控制器的控制指令开启或关闭所述电磁阀，实现所述晶圆侦测器处于远离待测晶圆的第一位置；同时所述主控制器向所述机械控制器提供控制指令，所述机械控制器控制所述侦测器宽度调整单元动作，使所述晶圆侦测器处于间距较大的状态。

2.如权利要求1所述的防止手臂撞击晶圆的装置，其特征在于，所述侦测器位置调整单元为气缸。

3.如权利要求2所述的防止手臂撞击晶圆的装置，其特征在于，所述气缸的数量为2个。

4.如权利要求1所述的防止手臂撞击晶圆的装置，其特征在于，所述侦测器宽度调整单元进一步包括：

基座；

设置在所述基座上或内的马达；

可转动的设置在所述基座上的轴承；以及

连接马达齿轮和轴承齿轮的传送带。

5.如权利要求4所述的防止手臂撞击晶圆的装置，其特征在于，所述晶圆侦测器具有两个，且可移动的设置在所述轴承的两侧。

6.如权利要求1所述的防止手臂撞击晶圆的装置，其特征在于，所述PLC单元还接收来自主控制器的指令，控制所述晶圆侦测器进行侦测。

7.如权利要求1所述的防止手臂撞击晶圆的装置，其特征在于，所述防止手臂撞击晶圆的装置进行正常侦测时，所述主控制器接收来自所述信号接收单元的指令，并向所述PLC单元提供控制指令，所述PLC单元基于所述主控制器的控制指令开启或关闭所述电磁阀，实现所述晶圆侦测器处于接近待测晶圆的第二位置；同时所述主控制器向所述机械控制器提供控制指令，所述机械控制器控制所述侦测器宽度调整单元动作，使所述晶圆侦测器处于间距较小的状态。