[发明专利]一种稀土倍半氧化物激光晶体生长方法有效

专利信息
申请号: 201910638970.7 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN111041558B 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 杭寅;张书隆;何明珠;蔡双;朱影;李善明;徐民;张连翰 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: C30B29/22 分类号: C30B29/22;C30B29/24;C30B11/02
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 稀土 氧化物 激光 晶体生长 方法
【权利要求书】:

1.一种稀土倍半氧化物激光晶体生长方法,其特征在于包含以下步骤:

①准备工作:将原料粉末按照分子式b%at.M:(LnxRe1-x)2O3进行配比,其中,

0≤x≤1,0≤b≤10,M=Yb/Nd/Dy/Ho/Er/Tm/Pr,Re=Y/Sc/Lu/Gd,Ln=Y/Sc/Lu/Gd;使用的冷坩埚系统包括感应线圈(1),水冷铜瓣(2),水冷底盘(5),所述的水冷铜瓣(2)和水冷底盘(5)通过坩埚升降系统(3)控制升降,所述的感应线圈通过感应圈升降系统(4)控制升降,水冷铜瓣和水冷底盘围成冷坩埚,冷坩埚内径Φ(50-500)mm,高度(50-800)mm之间;

②装炉:将原料粉末混合均匀后加入冷坩埚中,装料体积为坩埚体积的70%-90%,在原料体积的二分之一处,加入50-300g引燃剂,调整坩埚位置,使引燃剂的位置位于感应线圈中部;

③引燃:启动频率范围为50kHz-1MHz的高频电源后,引燃剂起燃产生高温使附近区域的原料粉末熔化,调节电源功率至10-30kW并保持0.5-1h,使熔化液面保持在线圈中部;

④熔料:缓慢提高电源功率至40-100kW,熔化区域逐渐扩大,熔化液面逐渐高于感应线圈上部,外壁的原料粉末由于水冷形成一层未熔壳;

⑤热平衡:待熔化液面距坩埚顶部(2-40)cm后,停止提升功率并保持熔体在此状态下(1-5)h以达到熔体与冷坩埚之间的热平衡;

⑥生长:熔体与冷坩埚之间达到热平衡后,利用冷坩埚系统的升降装置,采用温梯法、坩埚移动法、感应线圈移动法、泡生法或提拉法进行晶体生长;

⑦冷却:晶体生长完成后,逐渐降低电源功率,缓慢降低温度至室温后取出晶体。

2.如权利要求1所述的一种稀土倍半氧化物激光晶体的生长方法,其特征在于,所述的引燃剂为稀土金属Y/Lu/Sc/Gd,或者石墨材料。

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